在泛結(jié)構(gòu)化MEMs集成設(shè)計力法中，特別強調(diào)—：維設(shè)計。即所右的設(shè)計層級都可從：維設(shè)計開始，復合式破碎機仿真的結(jié)果也均可二維顯爾。在系統(tǒng)級，MEMs的組件可用實體模型表示，復合式破碎機通過實體裝配呵形成。除此之外，系統(tǒng)級仿真的結(jié)果也將通過；：維動態(tài)顯示。在器件級，MEMs器件的建模和仿真結(jié)果大都是用二維實體模型表示的，當然有部分的鍋合場建模和仿真由于三維模型非常復雜而采用二維模型。復合式破碎機這在當前的MEM5設(shè)計工具中也是如此。在工藝級，復合式破碎機不但工藝過程可以可視化表示，對于版圖的檢查也可木采用類似于微電子的版圖檢杏規(guī)則，5j對任意圖形范圍的結(jié)構(gòu)進行三維5A示，復合式破碎機以完成檢查。這顯然是一種更直觀、更先進的版圖檢查方式。

   須要指出的是，盡管三維設(shè)計更符合MEMs的特點．但在具體實踐中，有時候須要作一些折中。復合式破碎機如基于實體模型的MEMs系統(tǒng)級模型，就比較難與現(xiàn)在的電路仿真器兼容。因此，當筆者具體實施支持任意流程的MEM5集成設(shè)汁方法時，在系統(tǒng)模型的構(gòu)建中。