制水量：8L/H
超純水水質(zhì)：電阻率>18MΩ.cm（符合國(guó)標(biāo)一級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)）
TOC＜1～5PPb
硅泄漏＜0.2PPb
微生物≤1CFU/ml
顆粒物（＞0.22μm ）＜1個(gè)/ml
熱源 無(wú)
純水水質(zhì)：電阻率>0.2MΩ.cm (進(jìn)水電導(dǎo)率<300μs/cm)(符合國(guó)標(biāo)三級(jí)水標(biāo)準(zhǔn))
取水流速:～1升/分
進(jìn)水水源:市政自來(lái)水
進(jìn)水壓力: >0.1MPa
進(jìn)水水溫：2～40℃
工作電源:220V/50H2
外形尺寸:600×450×1000mm
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