制水量：8L/H

超純水水質(zhì)：電阻率>18MΩ.cm（符合國標(biāo)一級水標(biāo)準(zhǔn)）

           TOC＜1～5PPb

           硅泄漏＜0.2PPb

           微生物≤1CFU/ml

           顆粒物（＞0.22μm ）＜1個/ml

           熱源 無

純水水質(zhì)：電阻率>0.2MΩ.cm (進水電導(dǎo)率<300μs/cm)(符合國標(biāo)三級水標(biāo)準(zhǔn))

取水流速:～1升/分

進水水源:市政自來水

進水壓力: >0.1MPa

進水水溫：2～40℃

工作電源:220V/50H2

 

外形尺寸:600×450×1000mm