單晶硅烘箱 概念
單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
單晶硅烘箱特點(diǎn)
1，本系列單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
2，本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度控制、控溫靈敏、操作簡(jiǎn)便、性能可靠，數(shù)字直接顯 示出工作溫度，直觀(guān)易讀。
3，工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫；能自動(dòng)切斷電源，保護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
4，該設(shè)備具有超溫報(bào)警，恒溫計(jì)時(shí)功能。
單晶硅烘箱工作原理
■ 單晶硅烘箱箱體結(jié)構(gòu): 設(shè)計(jì)完美，箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型，箱門(mén)采用雙開(kāi)式，操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板，外殼為A3板噴塑處理，更顯光潔、美觀(guān)。電路系統(tǒng)側(cè)采用門(mén)式開(kāi)啟，方便維護(hù)和檢修。箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保烘箱的密閉性。
■ 單晶硅烘箱控制執(zhí)行系統(tǒng): 溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、PID智能控制儀表； Pt100鉑電阻測(cè)溫傳感器；
■ 單晶硅烘箱保護(hù)系統(tǒng): 整機(jī)保護(hù)系統(tǒng)由超溫保護(hù)及報(bào)警裝置構(gòu)成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好。