R14四氟化碳
中文名：四氟甲烷，氟利昂14，四氟化碳，R14四氟化碳，75-73-0
英文：Carbon tetrafluoride
CAS：75-73-0
分子式：CF4
含量：99.999%
熔點(diǎn)：-183.6℃
沸點(diǎn)：-128.1℃
液體密度：（-130℃）1.613g/cm3，
臨界溫度：-45.67℃
臨界壓力：3.73Mpa
臨界密度：7.1dm3/mol。
包裝：R14四氟化碳采用48.8L/鋼瓶；10L/鋼瓶包裝
用途：R14四氟化碳屬于超低溫制冷劑，可應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、航天技術(shù)、金屬冶煉、氣相絕緣、低溫制冷等諸多方面大量使用。