BOC愛(ài)德華iH1800螺桿泵維修 維修專線：13826954831（韋先生） IH 1800系列subfab干式真空泵困難苛刻的過(guò)程，如等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）和低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD），其中顆粒，凝和腐蝕性副產(chǎn)品，提供高可靠性呈現(xiàn)。BOC愛(ài)德華iH1800 IH 1800 subfab干式真空泵的工作壓力之間的大氣和極限真空無(wú)潤(rùn)滑或密封液體在泵室。這確保了無(wú)回油被疏散系統(tǒng)遷移到干凈的抽水系統(tǒng)。BOC愛(ài)德華iH1800 IH的1800系統(tǒng)與HCMB-1800干增壓泵HCDP160干泵;苛刻的化學(xué)品干泵（HCDP）有封閉，水冷電機(jī)。IH系統(tǒng)，因此適合應(yīng)用在清潔的環(huán)境，風(fēng)扇電機(jī)的冷卻是不可接受的。這些愛(ài)德華茲iH1800 IH 1800干式真空泵有燃?xì)庀到y(tǒng)引入HCDP泵吹掃氣體。這種氣體系統(tǒng)是適用于苛刻的職責(zé)過(guò)程。如果您使用輕型或中型流程的IH系統(tǒng)，您可以使用省煤器氣模，以減少泵送系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾南摹Ｄ憧梢允謩?dòng)控制，通過(guò)IH泵的顯示終端系統(tǒng)?；蛘?，您可以使用過(guò)程中的工具或其他控制設(shè)備通過(guò)接口模塊，或通過(guò)IM通信模塊配件控制的IH系統(tǒng)的運(yùn)作，或您可以使用控制操作的愛(ài)德華茲iH1800 IH IH單設(shè)備顯示器配件1800 subfab干式真空泵。

半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用包括： 

負(fù)載鎖定 
轉(zhuǎn)讓 
計(jì)量 
光刻 
物理氣相沉積PVD工藝 
物理氣相沉積的PVD前清潔 
快速熱退火退火 
蝕刻 
植入物源 
高密度等離子體化學(xué)氣相沉積的HDP CVD 
快速熱加工RTP 
小組大氣化學(xué)氣相沉積SACVD 
鎢化學(xué)氣相沉積WCVD 
改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積法MCVD 
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD反應(yīng) 
低壓化學(xué)氣相沉積LPCVD