外延片晶圓激光雕刻機(jī) 產(chǎn)品說明:
ILS系列外延片晶圓激光雕刻機(jī)廣泛應(yīng)用于外延片(芯片、磊晶)行業(yè),主要用來雕刻序列號(hào),品質(zhì)穩(wěn)定,雕刻精細(xì),速度快,保證產(chǎn)品質(zhì)量。臺(tái)灣兆晶、上海藍(lán)寶、云南藍(lán)晶等公司目前都在使用ILS系列芯片激光雕刻機(jī)。
原裝進(jìn)口ILS系列智慧型高精度外延片晶圓激光雕刻機(jī)是臺(tái)灣最大的工業(yè)用鐳射系統(tǒng)制造商悉心研制的具有國(guó)際水準(zhǔn)的名牌設(shè)備,其核心部件全部從美國(guó)原裝進(jìn)口,曾榮獲“臺(tái)灣精品獎(jiǎng)”;『激光大師』全球知名品牌,臺(tái)灣原裝設(shè)備。歷經(jīng)20年市場(chǎng)風(fēng)雨考驗(yàn),全球同步銷售。外延片晶圓激光雕刻機(jī)以全電腦化操控,人性化設(shè)計(jì),最優(yōu)的性價(jià)比而享譽(yù)同行,填補(bǔ)了雕刻機(jī)不能切割,切割機(jī)不能雕刻的行業(yè)空白。精彩絕倫的雕刻,無與倫比的切割(高精度半切割/全切割工藝),1524mm/s超高速、超加速的長(zhǎng)期無故障運(yùn)行,是當(dāng)前外延片晶圓激光雕刻機(jī)中的至尊選擇!
ILS系列外延片晶圓激光雕刻機(jī)擁有最新設(shè)計(jì)、易學(xué)好用的特性,工作臺(tái)面為A2尺寸(或更大尺寸),電控式Z軸升降,實(shí)用貼切的前后開門設(shè)計(jì),讓您的加工作業(yè)更靈活,更有彈性。工作區(qū)有內(nèi)置照明裝置,這個(gè)貼心的設(shè)計(jì)可使您清晰掌控工作狀況。除此之外,ILS系列外延片晶圓激光雕刻機(jī)具有高分辨率、高內(nèi)存、高速度、高精度、高穩(wěn)定性等重要特點(diǎn),堪稱工業(yè)用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外延片晶圓激光雕刻機(jī),是掌握速度與精度的最佳雷射系統(tǒng),是您提高工作效率上的最佳伙伴及有效工具!
外延片晶圓激光雕刻機(jī) 軟件特殊效果:
1、斜肩:此功能使得極細(xì)線的部分增加了強(qiáng)度
2、反白:點(diǎn)選此功能,能使得黑白反轉(zhuǎn)
3、鏡射:可自動(dòng)將圖檔水平反轉(zhuǎn)
4、補(bǔ)正:可防止原來圖檔中的邊緣被雷射光打到,影響精度
5、打點(diǎn):可定點(diǎn)打孔,可任意設(shè)定停滯及位移的時(shí)間
6、位置調(diào)整:可任意設(shè)定要雕刻或是切割的位置,不需要在電腦上做修正
7、浮雕:可識(shí)別顏色及灰度產(chǎn)生浮雕效果
外延片晶圓激光雕刻機(jī)技術(shù)參數(shù)表:
型號(hào) | ILS-IIINM | ||||
有效工作幅面 | 660 × 495mm | ||||
激光功率 | 25W / 30W / 55W / 60W / 100W | ||||
激光源 | 美國(guó)原裝金屬射頻激光源、風(fēng)冷 | ||||
激光波長(zhǎng) | 10.64μm | ||||
功率控制 | 數(shù)位式功率控制,可由0.1~100%無段控制,且可依圖形成比例的控制脈波產(chǎn)生速度,同時(shí)可依圖形顏色設(shè)定不同功率。 | ||||
聚焦鏡 | 標(biāo)配1.5"聚焦鏡 | ||||
最大速度 | 1524mm/sec(60"/sec) | ||||
重復(fù)精度 | 0.001mm | ||||
定位精度 | 0.01mm | ||||
分辨率(DPI) | 1000、500、333、250、200、166 | ||||
最大容納尺寸 | 640(L) × ∞ (W) × 210 (H) mm | ||||
Z軸工作臺(tái)調(diào)整 | 0~210mm、電動(dòng)升降 | ||||
記憶體容量 | 標(biāo)準(zhǔn)64MB高記憶體,可同時(shí)存儲(chǔ)99個(gè)檔案 | ||||
顯示熒幕 | 大尺寸LCD顯示器上有目前執(zhí)行檔案、激光功率、切割雕刻速度、執(zhí)行時(shí)間、已儲(chǔ)存檔案內(nèi)容,及自動(dòng)偵錯(cuò)等多項(xiàng)功能顯示 | ||||
傳輸接口 | USB接口、以太網(wǎng)絡(luò)連接接口 | ||||
開門設(shè)計(jì) | 前后開門設(shè)計(jì) | ||||
對(duì)焦方式 | 手動(dòng)/自動(dòng)對(duì)焦 | ||||
驅(qū)動(dòng)程式語言 | 可切換中、英文或自定語系 | ||||
使用軟件 | 所有Windows兼容的CAD及繪圖軟件皆可 | ||||
操作方式 | 可利用Windows兼容的打印機(jī)驅(qū)動(dòng)程式來設(shè)定,或從操作面板由人工設(shè)定 | ||||
安全規(guī)格 | 符合CDRH Class 1 安全規(guī)范,通過CE、RoHS認(rèn)證 | ||||
冷卻系統(tǒng) | 氣水分離器 | ||||
排氣設(shè)備 | 外部排氣設(shè)備 6.0m3/min、4寸風(fēng)管 | ||||
定位指示 | 紅光模組 | ||||
可選配置 | 旋轉(zhuǎn)輔助器、切割平臺(tái)、真空下吸蜂巢網(wǎng)、印章夾具、網(wǎng)絡(luò)打印服務(wù)器 | ||||
動(dòng)力規(guī)格 | 110/220V AC 、10/15AMP、50/60HZ | ||||
整機(jī)重量 | 200Kg(25W) | 205Kg(30W) | 225Kg(55W) | 228Kg(60W) | 255Kg(100W) |
外型尺寸 | 970(L) ×865(W) ×990 (H) mm |
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