該RTP快速退火爐采用：
■多重燈管設(shè)計以保證溫度均勻
■ 實時閉環(huán)溫度控制方式
■ 實時燈絲電流監(jiān)測以保證工藝穩(wěn)定可靠性
■ 安全監(jiān)測，包括熱偶測溫檢測、過熱檢測、燈絲電流檢測
■ 用戶操作界面，使用非常簡便
■ 軟件全自動控制工藝過程，操作簡單，包括用戶分級使用權(quán)限管理
■ 菜單編輯、工藝數(shù)據(jù)記錄/查找、報警/報錯、用戶狀態(tài)等功能
RTP快速退火爐的主要技術(shù)參數(shù)如下
加熱元件：鹵素電極；
電極數(shù)量：12支；
整機功率：7.2KW；
升溫速率：200℃/Second；
降溫速率：30秒(1000℃
→ 400℃)；
最高溫度：1100℃；
溫度精度：+/-
1℃；
最大樣品尺寸：4英寸；
氣氛環(huán)境：真空、氣體（氮氣、氬氣、氧氣）、空氣；
真空系統(tǒng)：可根據(jù)實際需要選配無油機型泵或者分子泵
應(yīng)用領(lǐng)域：
-快速熱退火
-
快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴散
- 化合物半導(dǎo)體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
-
晶向化和堅化
- 合金熔點分析;
- 薄膜沉積; 等等…
訂購熱線：18937183714 王倩 廠家直銷 量大從優(yōu) 保證質(zhì)量
