深冷空分設(shè)備就是以空氣為原料，通過壓縮循環(huán)深度冷凍的方法把空氣變成液態(tài)，再經(jīng)過精餾而從液態(tài)空氣中逐步分離生產(chǎn)出氧氣、氮氣及氬氣等惰性氣體的設(shè)備。
目前我國生產(chǎn)的空分設(shè)備的形式、種類繁多。有生產(chǎn)氣態(tài)氧、氮的裝置，也有生產(chǎn)液態(tài)氧、氮的裝置。但就基本流程而言，主要有四種，即高壓、中壓、高低壓和全低壓流程。我國空分設(shè)備的生產(chǎn)規(guī)模已經(jīng)從早期只能生產(chǎn)20m3/h（氧）的制氧機，發(fā)展到現(xiàn)在具有生產(chǎn)20000 m3/h、30000 m3/h和50000 m3/h（氧）的特大型空分設(shè)備的能力。

深冷空分設(shè)備從工藝流程來說可以分為5個基本系統(tǒng)：
1 雜質(zhì)的凈化系統(tǒng)：主要是通過空氣過濾器和分子篩吸收器等裝置，凈化空氣中混有的機械雜質(zhì)、水分、二氧化碳、乙炔等。
2 空氣冷卻和液化系統(tǒng)：主要由空氣壓縮機、熱交換器、膨脹機和空氣節(jié)流閥等組成，起到使空氣深度冷凍的作用。
3空氣精餾系統(tǒng)：主要部件為精餾塔（上塔、下塔）、冷凝蒸發(fā)器、過冷器、液空和液氮節(jié)流閥。起到將空氣中各種組分分離的作用
4 加溫吹除系統(tǒng)：用加溫吹除的方法使凈化系統(tǒng)再生。
5儀表控制系統(tǒng)：通過各種儀表對整個工藝進行控制。