產(chǎn)品描述：
最頂級的3D成像及測試系統(tǒng) （為用戶量身打造的表面輪廓測量設(shè)備，是表面量測領(lǐng)域的最佳選擇 ）
Zeta 3D光學(xué)輪廓儀可以對近乎所有材料和結(jié)構(gòu)的樣品進行測試, 從低反射率高粗糙度的太陽能電池片到高精密拋光的磁盤介質(zhì)，甚至包括高縱橫比結(jié)構(gòu)的微機械部件和多層結(jié)構(gòu)的微流體其器件。
Zeta強大的研發(fā)能力還提供特種應(yīng)用的設(shè)備定制服務(wù)，精密的光學(xué)測試系統(tǒng)和靈活自動的測試軟件包讓用戶的測試工作變得更加靈活簡單。
特點：
多功能光學(xué)測試模組
Zeta-300測試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測試技術(shù)， 滿足用戶各種領(lǐng)域的測試需求：
zdot TM Z點陣專利3維成像技術(shù)，是Zeta所有系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù)
ZIC 干涉反襯成像技術(shù)，實現(xiàn)亞納米級粗糙度表面的成像及量化分析
ZSI白光差分干涉技術(shù)，搭配任意物鏡實現(xiàn)Z方向超高分辨率的測量能力
Zx5白光干涉技術(shù)。保證Z方向高分辨率測量的同時，提供大視野范圍內(nèi)的測量和統(tǒng)計分析
測試速度快
1分鐘內(nèi)完成所有類型樣品的3D掃描成像及統(tǒng)計分析，其超高的分辨能力甚至可以對納米級的缺陷進行成像。
操作簡單
自動化測試程序，一鍵式操作過程，測試菜單設(shè)置簡單，30分鐘培訓(xùn)速成，結(jié)果輸出直觀。
功能強大
支持Zeta所有的測試技術(shù)，滿足用戶對不同樣品的測試需求，包括Zeta現(xiàn)有的光學(xué)輪廓測試技術(shù)、粗糙度和臺階高度測試技術(shù)等。
應(yīng)用領(lǐng)域：
Zeta-300 測試系統(tǒng)支持多功能測試選項，根據(jù)客戶實際需求可配備自動化機械手臂、全自動分析軟件等。高精度和高重復(fù)性的設(shè)備性能是科研和工業(yè)生產(chǎn)最理想的選擇。如下為實際應(yīng)用舉例：
LED,PSS&缺陷監(jiān)控
PSS和PR的圖案高度、寬度和周期 AOI缺陷測試，包括平片、PSS片、PR片、外延片 2寸、 4寸和6寸吸真空載臺
微流體和MEMS器件結(jié)構(gòu)分析
透明或半透明的多層結(jié)構(gòu)分析 高縱橫比結(jié)構(gòu)分析，如深溝壑、深井狀結(jié)構(gòu)等 靈活的測試工具，如cursors 和cross-sections
自動化測試軟件包
·多點自動序列量測
·多種不同視場的三維成像
·自動圖像掃描及拼接
·自動傾斜度及及波度補償
·自動參考面放平自動高度、尺寸、角度和面積測量。
光學(xué)參數(shù)
5x 10x 20x 50x 100x
N.A. 0.15 0.3 0.45 0.80 0.90
FOV(μm)1 1894x1420944x708 468x351 189x142 93x70
FOV(μm)2 4697x3522 2327x1745 1169x877 466x349 234x175
技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品尺寸(mm)
系統(tǒng) (長X寬X高)：510x725x773
主機：381x457x102
顯示器：596x449x240
總重量：145lbs/65 kg
操作規(guī)范
電壓: 100 - 230 VAC
電流: 4A
工作溫度: 18-30oC，非冷凝，±1℃ 每小時
性能配置
3D 成像: ~ 1 秒/點 (ZiC) ~ 10 秒/點 (ZSi) ~ 25 秒/點 (ZDot)
像素分辨率: 0.09 μm (0.5x耦合鏡配合100x物鏡)
最小Z軸步距: 2 nm (壓電陶瓷載臺) 13 nm (Z軸精密絲杠傳動)
Z軸分辨率： 0.5?(ZSi)
13 nm (Zdot)
重復(fù)性3： 7 nm (1σ)
系統(tǒng)配置
相機選項： 640x480, 1024x768, 1280x960
總放大率： 35,000x (光學(xué)和數(shù)字放大)
系統(tǒng)光源： 3個大功率白光LED
自動載臺： 150mm x 150mm (XY 方向)
Z軸測試范圍： 40mm
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更多請上 Zeta-300 http://www.hapoin.com/Zeta/Zeta-300.html 進行查閱
