應(yīng)用領(lǐng)域:
超純電子材料超純水處理
精密電子超純水處理
半導(dǎo)體材料和集成電子超純水處理
其它微電子用水處理
典型工藝流程
原水——原水箱——原水泵——多介質(zhì)過濾器——活性碳過濾器——保安過濾器——1級高壓泵——
2級高壓泵——2級反滲透——純水箱——送水泵——紫外線裝置——出水
反滲透裝置運行參數(shù):
1、回收率:60-75%
2、操作壓力:1-1.5Mpa
3、細(xì)菌去除率:大于99%
4、出水導(dǎo)電率:小于10μs/cm