電容位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)電容位移傳感器可用在兩個(gè)不用的測(cè)量范圍；納米分辨率；零磁滯。

電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。

電容位移傳感器主要特點(diǎn)：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項(xiàng)；

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