產(chǎn)品純度：99.999%
包裝規(guī)格：40L
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
產(chǎn)品等級：分析純
英文名稱:carbon tetrafluoride
英文別名:Tetrafluoromethane
分子式:CF4
分子量:88
其它參數(shù):
固體轉(zhuǎn)變點72.2K，
臨界溫度-45.67℃，
臨界壓力3.73MPa，
臨界密度7.1dm3/mol，
標準摩爾生成焓-932.31 kJ/mol，
標準摩爾生成熵261.04J/（mol﹒K），
標準摩爾自由能-929.84 kJ/mol，
標準摩爾生成自由能-887.41 kJ/mol。
| 序號 | 名稱 | 化學式 | 純度(%) | 壓力(Mpa) | 充裝量(m3/kg) | 閥門|螺紋出口 | 鋼瓶容積(L) | 鋼瓶尺寸(cm) | 鋼瓶皮重(kg) |
| 1 | 四氟化碳/R14 | CF4 | 99.999 | 4 | 28公斤 | PX-32|G5/8 | 40 | 29×145 | 50 |
| 2 | 四氟化碳/R14 | CF4 | 99.999 | 4 | 30公斤 | CGA580 | 44 | 29×145 | 53 |
| 3 | 四氟化碳/R14 | CF4 | 99.999 | 4 | 5公斤 | PX-32|G5/8 | 8 | 22×70 | 10 |
產(chǎn)品用途：
可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。由于化學穩(wěn)定性極強，CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。 它可用于電路板的制造，以及制造絕緣物質(zhì)和半導體。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
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