紐瑞德特種氣體高純硅烷氣體(www.qiti88.com)
名稱/化學(xué)式:硅烷/SiH4
包裝規(guī)格:470L、47L
純度(%)及雜質(zhì)(ppm) 99.9999
| 項(xiàng)目名稱 | 雜質(zhì)含量（ppm) |
| 硅烷 純度指標(biāo)（%） ≥99.9999 | |
氬氣（Ar） | ≤0.05 |
| 氯硅烷（Chlorosilane)） | ≤0.15 |
乙硅烷（Si2H6)) | ≤0.5 |
| 氦氣（He） | ≤1 |
一氧化碳（CO） | ≤0.05 |
| 氧氣（O2） | ≤0.05 |
氮?dú)猓∟2） | ≤1 |
| 氫氣（H2） | ≤20 |
二氧化碳（CO2） | ≤0.05 |
| 甲烷（CH4） | ≤0.05 |
碳（C） | ≤0.2 |
| 二氯二氫硅（SiH2Cl2) | ≤0.5 |
甲基硅烷（CH3Si) | ≤0.5 |
| 金屬離子（Metals) | ≤0.03 |
產(chǎn)品用途：
硅烷氣是太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中不可或缺的材料，因?yàn)樗菍⒐璺肿痈街陔姵乇砻娴淖钣行Х绞?。硅的外延生長(zhǎng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽(yáng)能電池，光導(dǎo)纖維，有色玻璃制造，化學(xué)氣相淀積。
其它參數(shù)：
熔點(diǎn)（oC）：-185
沸點(diǎn)（oC,常壓）：-111.9
沸點(diǎn)（oC,760mmHg）：-112
蒸發(fā)熱（KJ/mol）：12.5
熔化熱（KJ/mol）：0.67
生成熱（KJ/mol）：32.6
比熱容（KJ/(kg·K),25oC）：1.335
臨界溫度（oC）：-3.5
臨界壓力（MPa）：4.864
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