氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及其音圈直線電機(jī)氣浮平臺(tái)
聯(lián)系人：樊振華
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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)（空氣轉(zhuǎn)臺(tái)）是設(shè)法把主軸在空氣中懸浮起來(lái)，并可以穩(wěn)定地高精度地旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的壓力空氣來(lái)實(shí)現(xiàn)的，泄壓的縫隙極小，保證了轉(zhuǎn)動(dòng)軸的懸浮。高速度，高精確度；無(wú)摩擦力；無(wú)磨損；不需要潤(rùn)滑油；有卓越的速度控制性能；無(wú)噪音。正因?yàn)闅飧∞D(zhuǎn)臺(tái)有這么多的優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)在越來(lái)越多高精度的應(yīng)用領(lǐng)域用空氣軸承來(lái)取代普通的機(jī)械軸承。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單（精巧）2) 回轉(zhuǎn)輕巧3) 運(yùn)轉(zhuǎn)平滑4) 精密度高
5) 摩擦損耗小6) 無(wú)污染7) 壽命長(zhǎng)8) 清潔
應(yīng)用領(lǐng)域
1) 精密計(jì)量：圓度、垂直度、平面度、同心度、圓柱度的計(jì)量
2) 空間模擬裝置3) 三坐標(biāo)儀4) 低速伺服轉(zhuǎn)臺(tái)5) 精密儀器軸承：圓度儀、摩擦力矩儀等6) 高速砂輪軸軸承7) 精密機(jī)床軸承8) 光學(xué)測(cè)試
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在超精密氣浮定位平臺(tái)研究工作中,對(duì)靜壓空氣軸承的安裝位置對(duì)系統(tǒng)影響的研究相對(duì)較少,本公司研制了一種新型機(jī)械結(jié)構(gòu)的音圈直線電機(jī)氣浮導(dǎo)軌性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)臺(tái),實(shí)驗(yàn)臺(tái)導(dǎo)軌滑架采用焊接框架組合結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)不同類型氣浮軸承的更換及不同數(shù)量的氣浮軸承的安裝,形成不同結(jié)構(gòu)布局的氣浮導(dǎo)軌,能夠滿足多種氣浮導(dǎo)軌的實(shí)驗(yàn)研究,提高了氣浮導(dǎo)軌實(shí)驗(yàn)臺(tái)的利用率和使用范圍。此實(shí)驗(yàn)臺(tái)具有機(jī)械精度高、系統(tǒng)剛度大、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,安裝使用方便等特點(diǎn)。建立了雙邊直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的H型氣浮精密定位平臺(tái),對(duì)該精密定位系統(tǒng)的氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)方法和雙邊直線電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)控制等關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究。利用有限元法設(shè)計(jì)了氣浮導(dǎo)軌,分析了氣膜壓力場(chǎng)的分布情況,采用預(yù)加載技術(shù)提高氣浮導(dǎo)軌的承載能力和剛度等性能。靜態(tài)特性實(shí)驗(yàn)表明,開(kāi)發(fā)的定位平臺(tái)氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度,X、Y導(dǎo)軌的豎直方向靜剛度為XXX N/μm和XXXN/μm。設(shè)計(jì)了基于同步速度偏差的改進(jìn)型并聯(lián)結(jié)構(gòu)同步控制器,采用模糊控制實(shí)現(xiàn)PID參數(shù)的自適應(yīng)在線整定。運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn)表明,改進(jìn)的控制器具有較高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3倍多,適合于具有強(qiáng)機(jī)械耦合的多電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)控制。H型直線電機(jī)氣浮定位平臺(tái)具有承載能力強(qiáng)、精度高的優(yōu)點(diǎn),可以用于光刻機(jī)和光學(xué)檢測(cè)等精密工程領(lǐng)域。
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