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壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)簡(jiǎn)介：壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)是基于壓電現(xiàn)象產(chǎn)生超聲駐波的原理而開發(fā)的，應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的精密電動(dòng)機(jī)，也稱超聲波電動(dòng)機(jī)。與直流電動(dòng)機(jī)相似，具有高分辨率和壓電驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)態(tài)特性。電動(dòng)機(jī)工作時(shí)沒有內(nèi)在磁場(chǎng)和運(yùn)動(dòng)部件，結(jié)構(gòu)緊湊，行程不受限制，能夠達(dá)到直線和旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)所不能匹敵的精度。壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)可用在從普通環(huán)境到超高真空環(huán)境的半導(dǎo)體設(shè)備、平面平臺(tái)設(shè)備、光學(xué)纖維制動(dòng)態(tài)元件制造、存儲(chǔ)介質(zhì)制造和測(cè)試設(shè)備、生物醫(yī)藥和制藥、度量衡和超高精度的微型數(shù)控等設(shè)備中。壓電陶瓷電動(dòng)機(jī)，給陶瓷電動(dòng)機(jī)輸入驅(qū)動(dòng)電壓后，壓電陶瓷產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時(shí)發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵(lì)在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，壓擠靠著一個(gè)陶瓷條的陶瓷指尖產(chǎn)生一個(gè)驅(qū)動(dòng)力，驅(qū)動(dòng)與之接觸的陶瓷條帶動(dòng)直線或旋轉(zhuǎn)平臺(tái)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)。但沒有驅(qū)動(dòng)電壓的時(shí)候，陶瓷指尖對(duì)陶瓷條的壓力使之在運(yùn)動(dòng)裝置上維持一個(gè)保持力矩，而不產(chǎn)生位移和滯后。
壓電陶瓷電動(dòng)機(jī))的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)具有如下功能和特點(diǎn):
(1)定位精確，分辨率可達(dá)1μm，精度10nm：
(2)運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)，最低10μm/s，最高250mm/s：
(3)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時(shí)間為50～75μs：
(4)整定時(shí)間明顯優(yōu)于一般伺服電動(dòng)機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動(dòng)機(jī)的1/10：
(5)定位后沒有一般伺服電動(dòng)機(jī)存在的晃動(dòng)問題：
(6) 重量輕，體積?。?br /> (7)行程無限制
Piezo Motor壓電陶瓷電機(jī)
Pizeo LEGS LINER 414212（直線式壓電陶瓷電機(jī)）
Pizeo LEGS R rotative 428252(旋轉(zhuǎn)式壓電陶瓷電機(jī))
■線性壓電陶瓷電機(jī)
●Pizeo Wave Linear 0.1N
電壓：6-10V DC
驅(qū)動(dòng)頻率：91-93KHz
速度范圍：50-150mm/s
推力：0.1-0.7N
●Pizeo LEGS Linear 6N (真空型可選)
電壓：48V DC
最大行程：80mm
速度范圍：0-15mm/s
分辨率：<1nm
真空度：10^-7 torr
推力：>7N
●Pizeo LEGS Linear Twin 20N (真空型可選)
電壓：48V DC
最大行程：80mm
速度范圍：0-10mm/s
分辨率：<1nm
真空度：10^-7 torr
推力：>20N
●Pizeo LEGS Linear Twin-C 300N (真空型可選)
電壓：65V DC
最大行程：20mm
最大速度：0.3mm/s
分辨率：<1nm
推力：>300N
尺寸：80*50*50mm
●Pizeo LEGS Linear Twin-C 450N (真空型可選)
電壓：65V DC
最大行程：20mm
最大速度：0.3mm/s
分辨率：<1nm
推力：>450N
尺寸：98*50*50mm
■旋轉(zhuǎn)式壓電陶瓷電機(jī)
● Pizeo LEGS Rotary 50mNm (無磁,真空)
角度范圍：360°
速度范圍：0-20RPM
分辨率：< 1urad
堵轉(zhuǎn)力矩：>50mNm
保持力矩：> 55mNm
真空度：10^-7 torr
最大電壓：48V DC
尺寸：?23 x 34.1
● Pizeo LEGS Rotary 80mNm (無磁,真空)
角度范圍：360°
速度范圍：0-20RPM
分辨率：< 1urad
堵轉(zhuǎn)力矩：>80mNm
保持力矩：> 90mNm
真空度：10^-7 torr
最大電壓：48V DC
尺寸：?23 x 34.1
壓電陶瓷平臺(tái)（轉(zhuǎn)角，位移）
■角度壓電陶瓷電機(jī)平臺(tái)
角度范圍：+/- 10度
最小半徑：86mm
速度范圍： 0-7°/S
單位脈沖分辨率：0.01-60urad
分辨率：< 10 nrad
負(fù)載范圍：0-8N
保持力：22N
最大電壓：48V
尺寸：60*20.7*20.4mm
■直線壓電陶瓷電機(jī)平臺(tái)
行程：29mm
速度范圍： 0-10mm/S
單位脈沖分辨率：0.001-5um
分辨率：<1 nm
負(fù)載范圍：0-8N
保持力：22N
最大電壓：48V
尺寸：60*20.7*20.4mm
