在某種光學(xué)儀器上需要用到一個轉(zhuǎn)動達100Hz的棱鏡來反射光束，要求精度為10nm，但是為了防止光污染，所以不建議采用一般的激光傳感器。根據(jù)客戶的精度和環(huán)境要求我們推薦客戶使用加速度振動傳感器KD5100。

基于加速度振動傳感器KD5100棱鏡的轉(zhuǎn)動幅度測量應(yīng)用

根據(jù)實際應(yīng)用，將棱鏡安裝在金屬鋁架上，而作為差動測量的兩個探頭安裝如下示意圖所示：

用電渦流傳感器KD5100測量棱鏡的旋轉(zhuǎn)幅度

然后在現(xiàn)場會有一個驅(qū)動棱鏡擺動的電機，電機的工作距離探頭為100mm，需要認真考慮電機所產(chǎn)生的磁場對探頭的影響。

我們推薦的加速度振動傳感器KD5100主要參數(shù)如下所示：

測量范圍：0.089mm

靜態(tài)分辨率：0.1nm（1x10-7mm）

測量頻率：22KHz

供電：±15VDC@55mA（建議配廠家電源）

輸出：±10VDC max

探頭工作溫度： -52℃~105℃

詳情請訪問：

http://www.51sensors.com/prod_detail_785.html

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