1、1400℃真空氣氛管式電爐爐膛材料采用優(yōu)質的多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1500度的優(yōu)質硅碳棒。
2、1400℃真空氣氛管式電爐密封法蘭采用雙環(huán)密封技術，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調功能。
3、1400℃真空氣氛管式電爐兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。
4、1400℃真空氣氛管式電爐先進的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到達50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。
國產程序 | SK-G04143 | SK-G05145 | SK-G06143 | SK-G08143 |
進口程序 | SK-G04145 | SK-G05145 | SK-G06145 | SK-G08145 |
溫區(qū) | 單溫區(qū) | |||
最高溫度 | 1400℃ | |||
加熱區(qū)長度 | 200mm | 400mm | ||
恒溫區(qū)長度 | 70mm | 140mm | ||
加熱元件 | 硅碳棒 | |||
空爐升溫時間 | <30min | |||
額定功率 | 2.5Kw | 5Kw | ||
額定電壓 | 220V | |||
溫度控制 | 國產程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控制；進口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控制； | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
石英管尺寸（mm） | Φ40/34x1000 | Φ50/44x1000 | Φ60/50x1000 | Φ80/70x1000 |
爐管材料 | 剛玉管 | |||
爐管最高工作溫度 | ＜1300℃ | |||
配置爐管時升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min | |||
外形尺寸（深x寬x高） | 315x440x539mm | 400x614x653mm | ||
重量 | 60Kg | 85Kg | ||
標準配置 | 氣路總成一套（含真空壓力表），剛玉管一支，剛玉堵塞兩個，鉤子一把，高溫手套一副 | |||
真空/氣氛總成配套（可選） | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)； | |||
氣路控制系統(tǒng)：氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質量流量控制系統(tǒng)； | ||||
計算機集散控制系統(tǒng)； CVD電爐系統(tǒng)； | ||||
1200℃ 多溫區(qū)產品
| 產品型號 | 溫度 控制 | 控溫 精度 | 空爐 升溫時間 | 爐管 材料 | 爐管最高 工作溫度 | 加熱 元件 | 配置爐管時升溫速度 | 標準配置 |
| SK-G05123K-3-655 | 國產程序控 溫系統(tǒng)可編 輯50段程序 控溫。進口 程序控溫系 統(tǒng)可編輯40 段程序控溫 (選配)。 | ±1℃ | <15min | 石英 玻璃管 | <1200℃ | 高電阻電 熱合金絲 OCr27Al7Mo2 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min | 氣路總成一套 (含真空壓力表)、 石英管一支、 石英堵兩個、 石英舟一個、 鉤子一把、 高溫手套一副 |
| SK-G06123K-3-655 | ||||||||
| SK-G08123K-3-655 | ||||||||
| SK-G05123K-5-875 | ||||||||
| SK-G06123K-5-875 | ||||||||
| SK-G06123K-5-875 | ||||||||
| SK-G08123K-3-940 | ||||||||
| SK-G10123K-3-940 | ||||||||
| SK-G12123K-3-940 | ||||||||
| SK-G15123K-3-940 | ||||||||
| SK-G10123K-5-900 | ||||||||
| SK-G12123K-5-900 | ||||||||
| SK-G158123K-5-940 |
| 產品型號 | 溫區(qū) | 最高 溫度 | 加熱區(qū) 長度 | 恒溫區(qū) 長度 | 石英管尺寸mm | 額定 功率 | 外形尺寸mm | 重量 | 額定電壓 |
| SK-G05123K-3-655 | 三 溫 區(qū) | 1200℃ | 655mm | 500mm | Φ50/43x1200 | 4.8Kw | 360x815x555 | 95Kg | 220V |
| SK-G06123K-3-655 | Φ60/53x1200 | ||||||||
| SK-G08123K-3-655 | Φ80/72x1200 | ||||||||
| SK-G05123K-5-875 | 五 溫 區(qū) | 875mm | 770mm | Φ50/43x1400 | 6Kw | 360x1035x555 | 115Kg | 380V （三相） | |
| SK-G06123K-5-875 | Φ60/53x1400 | ||||||||
| SK-G06123K-5-875 | Φ60/53x1400 | ||||||||
| SK-G08123K-3-940 | 三 溫 區(qū) | 940mm | 700mm | Φ80/72x1500 | 7.2Kw | 410x1100x605 | 115Kg | ||
| SK-G10123K-3-940 | Φ100/92x1500 | 410x1100x605 | |||||||
| SK-G12123K-3-940 | Φ120/112x1500 | 410x1100x605 | 125Kg | ||||||
| SK-G15123K-3-940 | Φ150/142x1500 | 9Kw | 480x1100x675 | ||||||
| SK-G10123K-5-900 | 五 溫 區(qū) | 940mm | 800mm | Φ100/92x1500 | 410x1060x605 | 125Kg | |||
| SK-G12123K-5-900 | Φ120/112x1500 | 6Kw | 145Kg | ||||||
| SK-G158123K-5-940 | 940mm | 700mm | Φ150/142x1500 | 8.5Kw | 480x1100x675 | 145Kg |
1200℃單溫區(qū)電爐
| 產品型號 | 溫區(qū) | 最高 溫度 | 加熱區(qū) 長度 | 恒溫區(qū) 長度 | 石英管尺寸mm | 額定 功率 | 外形尺寸mm | 重量 | 額定電壓 |
| SK-G03123K | 單 溫 區(qū) | 1200℃ | 210mm | 70mm | Φ30/24x800 | 1.2Kw | 290x400x479 | 35Kg | 220V |
| SK-G04123K | Φ40/34x800 | ||||||||
| SK-G05123K | 420mm | 210mm | Φ50/43x1000 | 2.5Kw | 340x580x555 | 75Kg | |||
| SK-G06123K | Φ60/53x1000 | ||||||||
| SK-G08123K | Φ80/72x1000 | ||||||||
| SK-G10123K | Φ100/92x1000 | ||||||||
| SK-G08123K-610 | 610mm | 300mm | Φ80/72x1200 | 4.8Kw | 410x770x605 | 80Kg | |||
| SK-G10123K-610 | Φ100/92x1200 | ||||||||
| SK-G12123K-610 | Φ120/112x1200 | 480x770x675 | 85Kg | ||||||
| SK-G15123K-610 | Φ150/142x1200 | 6Kw |
| 產品型號 | 溫度控制 | 控溫 精度 | 空爐升 溫時間 | 爐管 材料 | 爐管最高 工作溫度 | 加熱元件 | 配置爐管時 升溫速度 | 標準配置 |
| SK-G03123K | 國產程序控 溫系統(tǒng)可編 輯50段程序 控溫。進口 程序控溫系 統(tǒng)可編輯40 段程序控溫 (選配)。 | ±1℃ | <15min | 石英 玻璃管 | <1200℃ | 高電阻電 熱合金絲 OCr27Al7Mo2 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min | 氣路總成一套 (含真空壓力表)、 石英管一支、 石英堵兩個、 石英舟一個、 鉤子一把、 高溫手套一副 |
| SK-G04123K | ||||||||
| SK-G05123K | ||||||||
| SK-G06123K | ||||||||
| SK-G08123K | ||||||||
| SK-G10123K | ||||||||
| SK-G08123K-610 | ||||||||
| SK-G10123K-610 | ||||||||
| SK-G12123K-610 | ||||||||
| SK-G15123K-610 |
