內(nèi)部潔凈干燥箱,350度高溫潔凈烘干箱,晶圓清洗干燥箱 |
一、高溫充氮潔凈產(chǎn)品特點(diǎn): 1.箱體周身做密閉氬弧焊接, 耐高溫硅膠迫緊; 2.選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板材,防止產(chǎn)生PARTICLE; 3.安裝氮?dú)饪刂蒲b置,箱體可以接入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)潔凈; 4.SUS304#不銹鋼無塵化電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵; 5.120K級(jí)高密度硅酸鋁纖維填充,箱體內(nèi)部高達(dá)350度外部不超過45度 6.特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),含氧量:<500PPM 二、主要技術(shù)指標(biāo): 2.1產(chǎn)品名稱:潔凈充氮烤箱 2.2產(chǎn)品型號(hào):PHH-270 2.3 電源:AC380V 50HZ 2.4規(guī)格尺寸,功率: 2.5溫度范圍: 溫度范圍:常溫+30~350℃ 均勻性能:±2.0%(空箱測試) 含氧量:<500PPM 2.6、箱體結(jié)構(gòu): 機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu):溫控器位于箱體頂部,特殊門設(shè)計(jì)。 內(nèi)壁材質(zhì):內(nèi)膽材料,采用 SUS1.5mm厚度優(yōu)質(zhì)不銹鋼鋼板,周身做密閉氬弧焊接。 外部材質(zhì):外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷。 保溫材質(zhì):120K級(jí)高密度硅酸鋁纖維填充,保溫層厚度為120mm。 風(fēng)機(jī)風(fēng)輪:需高溫專用烘箱電動(dòng)機(jī)離心風(fēng)葉,防震自散熱。 電加熱器:采用覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化U型管狀(不銹鋼SUS304#)電熱發(fā)生器 2.7、電氣系統(tǒng): 控溫方式:訊號(hào)來源,采用 PT100 鉑電阻 感應(yīng)棒±0.5%。 溫控裝置:日本富士智能程序溫控儀表, LED數(shù)字顯示及設(shè)定、P.I.D自動(dòng)演算、時(shí)間定時(shí)。 溫控輸出:SSR輸出 氮?dú)饪刂蒲b置:氮?dú)饬髁坑?jì),氮?dú)膺M(jìn)出口?!? 2.8、完善的安全保護(hù)措施:漏電斷路器/超溫保護(hù)/開門氮?dú)庾詣?dòng)中斷保護(hù)/馬達(dá)過載電流保護(hù) 潔凈烘烤箱熱線:021-37693997 15221841067 傳真:021-37832075 QQ:466477634 ,聯(lián)系人:周高超 ; 15221744475 QQ:147224984聯(lián)系人:蔣鑫,參考網(wǎng)站:http://www.done-e.com. 內(nèi)部潔凈干燥箱,350度高溫潔凈烘干箱,晶圓清洗干燥箱 |