聚乙烯醇肉桂酸酯

產(chǎn)品含量：95%

CAS 編號(hào)：24968-99-8

外觀:淺黃粉末，乙烯基-3-苯基-2-丙烯酸酯的均聚物, 是一種負(fù)型光致抗蝕劑，在紫外光照射下聚合，不見(jiàn)光的部分不聚合。曝光顯影后圖形分辨率好，質(zhì)量穩(wěn)定，對(duì)二氧化硅、硅、鋁、氧化鉻等材料有良好的附著力，能耐氫氟酸、磷酸腐蝕。廣泛用于制備集成電路、電子元件的光刻工藝，亦適用于印刷線(xiàn)路板、金屬表牌、光學(xué)儀器、精密量具等微細(xì)圖形的加工

制備方法：聚乙烯醇與肉桂酰氯在吡啶溶劑中反應(yīng)制備.

用途:（1）光致抗腐蝕劑,在紫外光照射下聚合，不見(jiàn)光的部分不聚合。曝光顯影后圖形分辨率好，質(zhì)量穩(wěn)定，對(duì)

二氧化硅、硅、鋁、氧化鉻等材料有良好的附著力，能耐氫氟酸、磷酸腐蝕。

（2）廣泛用于制備集成電路、電子元件的光刻工藝，

（3）適用于印刷線(xiàn)路板、金屬表牌、光學(xué)儀器、精密量具等微細(xì)圖形的加工.和半導(dǎo)體器件不可缺少的產(chǎn)品。