電容微位移傳感器位移傳感器電容傳感器

電容微位移傳感器是通過(guò)改變電容兩極板間的電荷實(shí)現(xiàn)測(cè)量的。常用的方法有三種：變極板間距離的變極距型；改變極板面積的變面積型；還有就是改變介質(zhì)介電常數(shù)的變介質(zhì)型?，F(xiàn)在所介紹的是變極距型的電容微位移傳感器。

電容微位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。

該電容微位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不用的測(cè)量范圍；納米分辨率；零磁滯。

電容微位移傳感器主要特點(diǎn)：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項(xiàng)；

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