電容位移傳感器ZNXsensor電子顯微鏡應(yīng)用介紹
對于緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容位移傳感器進(jìn)行檢測比較適宜，主要是這類傳感器具有以下突出優(yōu)點(diǎn)：
1、測量范圍大其相對變化率可超過100%；
2、靈敏度高如用比率變壓器電橋測量，相對變化量可達(dá)10-7數(shù)量級；
3、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快因其可動(dòng)質(zhì)量小，固有頻率高，高頻特性既適宜動(dòng)態(tài)測量，也可靜態(tài)測量；
4、穩(wěn)定性好由于電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機(jī)材料，因此可以在高溫、低溫強(qiáng)磁場、強(qiáng)輻射下長期工作，尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測難題。
本文將要說到的電子顯微鏡應(yīng)用就需要電容位移傳感器的支持（原因：采用電子顯微鏡進(jìn)行納米操作,在硬件裝備中有一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),那就是要解決載物臺或其相應(yīng)設(shè)備的高精度的自動(dòng)測量和精確定位。）
應(yīng)用方案說明：顯微鏡移動(dòng)臺在移動(dòng)停止后會(huì)有一定的反彈，平臺移動(dòng)總的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動(dòng)精度。可以使用電渦流傳感器測量平臺的較大范圍的移動(dòng)，使用ZNXsensor電容位移傳感器測量反彈的微小位移。
深圳市真尚有科技有限公司的ZNXsensor型超精密電容位移傳感器（雙通道電容傳感器），這是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。
其主要特點(diǎn)有：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滯；
線性最高0.02%；
頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；
真空兼容選項(xiàng)；
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