隨著計(jì)算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展,推動(dòng)了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展,也帶動(dòng)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展,同時(shí)對(duì)潔凈室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求。山東潤(rùn)德凈化(www.rundejinghua.net)指出,電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù),只有充分了解電子制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn),做到設(shè)計(jì)合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。
電子制造業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室廠房特點(diǎn):
芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,
照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控
該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。一般來(lái)說(shuō),電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。
電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
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