前超純水處理設備在很多方面都有應用,但是作為器主要支撐的行業(yè)-電子行業(yè)對其使用范圍更加廣闊,純水涉及了電子產品的生產全過程。 典型工藝流程 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)
電子行業(yè)的超純水設備主要適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計算機硬盤、線路板等工藝所需的純水和超純水制備.在嚴格執(zhí)行ISO-9001國際質量體系標準的前提下,采用世界上最先進的反滲透膜元件.壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設備及后處理設備,使產品出水符合各類電子行業(yè)生產標準的超純水.控制系統(tǒng)選用PLC或計算機DCS程序控制,可實現自動起停、加藥及沖洗,自動監(jiān)測各種運行參數,并可實現運行參數的儲存及打印廣泛適用于:半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管超純材料和超純化學試劑光導纖維、光盤。
應用范圍概述:
電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液顯像管和陰極射線管生產配料用純水黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制集成電路生產中高純水清洗硅片硅片純水光伏硅材料DI超純水設備-硅圓生長/切片清洗高純水硅材料單晶硅DI
預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17MΩ.CM)(最新工藝)
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(最新工藝)
處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)