微分干涉顯微鏡
WFX-10顯微鏡穩(wěn)定可靠,操作方便,成像清晰,圖像輸出功能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子工業(yè)。對(duì)晶體、集成電路的檢驗(yàn)和科學(xué)研究。WFX-10顯微鏡為無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),采用長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡,穩(wěn)定可靠的架臺(tái),精確的調(diào)焦機(jī)構(gòu)。
lLED同軸落射光源和LED透射光源照明系統(tǒng)。
l偏光系統(tǒng)檢偏鏡可轉(zhuǎn)動(dòng)100度便于偏光正交觀察。
l可調(diào)節(jié)的DIC棱鏡插板可得到最佳的微分干涉效果。
l視野單目觀察,減少很多中間環(huán)節(jié),成像更清晰。
l可以配置各種圖像采集設(shè)備。
顯微鏡用途:
1.明場(chǎng)觀察:亮度可調(diào)的同軸照明,適用晶體、集成電路的檢驗(yàn)、精密制造業(yè)的裝配、零件檢測(cè)和品質(zhì)控制。
2.透射觀察:亮度可調(diào)的透射照明,可觀察透明樣品,尤其對(duì)液晶顯示屏的檢測(cè)效果更好,能清楚觀察檢測(cè)發(fā)光屏的三色模塊。
3.偏光觀察:系統(tǒng)內(nèi)裝置偏光機(jī)構(gòu),起偏鏡固定在照明系統(tǒng);檢偏鏡裝置在成像系統(tǒng)、100度可調(diào),便于正交觀察。主要對(duì)金相樣品進(jìn)行正交偏振光觀察,還可應(yīng)用于礦物、化學(xué)等領(lǐng)域。
4. DIC觀察--微分干涉觀察:在明場(chǎng)、偏光正交的系統(tǒng)里再插入DIC棱鏡裝置(渥拉斯頓棱鏡)。DIC作為一種極具前途的分析檢驗(yàn)方法,具有對(duì)金相樣品的制備要求較低,所觀察到的樣品各組成之間的相對(duì)層次關(guān)系突出,呈明顯的浮雕狀,對(duì)顆粒、裂紋、孔洞以及凸起等能作出正確的判斷,能夠容易判斷許多明場(chǎng)下所看不到的或難于判別的一些結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)或缺陷,可進(jìn)行彩色金相攝影等優(yōu)點(diǎn)。
尤其對(duì)液晶顯示屏導(dǎo)電板的檢測(cè)效果更好,能夠清楚的觀察到導(dǎo)電板基板上的導(dǎo)電粒子。使用DIC技術(shù),可以使物體表面微小的高低差展現(xiàn)出清晰,輪廓突出,帶立體感的浮雕成像,極大的提高圖像的對(duì)比度。
明場(chǎng)觀察 | DIC觀察導(dǎo)電粒子 |
規(guī)格配置:
1.無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng):f=200mm
2.放大位數(shù):50X、100X、200X、500X
3.長(zhǎng)工作距離:5~45mm
4.調(diào)焦范圍:60mm
5.工作臺(tái):260X220mm、玻璃臺(tái)版:170X150mm
6.移動(dòng)范圍:X:±75mm、 Y:±75mm