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漢鐘螺桿式真空泵漢鐘PS602,PS1302

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  • 單價:
    面議
  • 可售數(shù)量:
  • 品牌名稱:
    漢鐘
  • 所在地:
    廣東深圳
  • 產(chǎn)品規(guī)格:
    SP1302,SP602.....
  • 包裝說明:
  • 商品名稱:漢鐘螺桿式真空泵漢鐘PS602,PS1302
  • 自定義分類:漢鐘真空泵
  • 上架時間:2016/2/17 16:43
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產(chǎn)品關(guān)鍵詞: 真空泵,漢鐘螺桿式真空泵,銷售維修加保養(yǎng),

漢鐘干式真空泵

包括臺灣漢鐘干式螺桿式真空泵和臺灣漢鐘干式多級羅茨真空泵

PDR系列

包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 , 漢鐘真空泵 PDR602, 漢鐘 真空泵 PDR1202

上海漢鐘干式真空泵 PS系列

包括機型  漢鐘真空泵PS80 ,漢鐘真空泵PS160,漢鐘真空泵 PS180,漢鐘真空泵 PS602,漢鐘真空泵 PS1302


臺灣漢鐘真空泵PS系列產(chǎn)品特點

螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。


泵浦溫度控制精準(zhǔn)

  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度,減少沉積物的產(chǎn)生,增加真空泵浦的壽命。


密封馬達安全性高

  PS系列真空泵浦亦全面采用專利設(shè)計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉(zhuǎn)溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風(fēng)險。


微電腦控制保護周全

  PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監(jiān)控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。


產(chǎn)品關(guān)鍵詞: 真空泵,漢鐘螺桿式真空泵,銷售維修加保養(yǎng),
漢鐘螺桿式真空泵漢鐘PS602,PS1302
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