氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及其音圈直線電機(jī)氣浮平臺(tái)
手機(jī)：18201099680 Q Q: 305786592
行程： 50 to 250mm；
分別率：1um/步；
無回滯，剛性強(qiáng)；
承載能力：20kg；
可堆疊 XYZ三軸平臺(tái)
真空度：1 x 10-10 mBar；
烘烤溫度：200°C；
交叉滾子軸承；
防輻射： 1 x 106 Gy ；
可以根據(jù)客戶要求定制，也可以定制固體潤滑的方式；
規(guī)格 | 單位 | LTVL | LTVH |
行程 | mm | 50/ 100 / 150 /200 /250 | 50/ 100 / 150 /200 /250 |
整步分別率 | μm | 5 | 1 |
最大速度 | mm/s | 15 | 4 |
推薦真空環(huán)境中速度 | mm/s | 2 | 0.8 |
重復(fù)定位精度 | μm | 1 | 0.2 |
水平負(fù)載能力 | kg | 20 | 20 |
負(fù)載力矩 | Nm | <5 | <5 |
軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A | kg | 3 | 10 |
間隙 | μm | 0 | 0 |
轉(zhuǎn)動(dòng), 俯仰 & 偏載 (無負(fù)載 | μrad | <25 | <25 |
Roll Compliance | μrad/Nm | 33 | 33 |
Pitch & Yaw Compliance | μrad/Nm | 33 | 33 |
直線度 | μm | <1.3μm / 100mm | <1.3μm / 100mm |
使用步進(jìn)電機(jī) | D35.1 | D35.1 | |
真空度 | mBar | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 |
最大恩度 | °C | 200 | 200 |
MTBF (5kg負(fù)載和30%占空比) | hrs | 15,000 | 10,000 |
