球柵尺的技術(shù)參數(shù):
最大量程 |
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準(zhǔn)確度 |
±5μm/M ; ±10μm/M ; |
分辨率 |
0.1μm; 5μm |
輸出信號 |
方波TTL;正弦 |
最高工作速度 |
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