測距離傳感器ZLDS100測量玻璃下面硅片的距離
測距離傳感器應用前景
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在監(jiān)控的CCD板中,有一個主芯片的pin點為硅片,并且在pin點上面有一層玻璃。為了制作出高品質(zhì)的監(jiān)控系統(tǒng)裝置,必須確定安裝的精確度。為此便需要精確測量出硅片的距離,來保證品質(zhì)和節(jié)約成本。由于應用的特殊性,我們?yōu)榭蛻袅可矶ㄖ屏诵蕵藴市偷?/span>ZLDS100測距離傳感器。
測距離傳感器基于ZLDS100的特殊測量
CCD板中玻璃與硅片間的距離約為0.75mm,傳感器與硅片間的距離為12mm,ZLDS100系列的30mm量程的精度為0.03mm,分辨率為0.003mm,為此,我們用ZLDS100系列測距離傳感器的30mm量程測量玻璃下面硅片的距離。
測量演示
ZLDS100測距離傳感器的特點
l量程最小2mm,最大1250mm(其他量程可訂制);
l量程起始距離最小10mm,最大260mm(其他距離可訂制);
l頻率響應:2K、5K、8K、9.4K;
l分辨率最高0.01%,線性度最高0.1%;
l支持多個傳感器同步采集(確保工業(yè)在線高精度差動測厚);
l支持特殊量程(如遠距離起始700mm小量程300mm等);
l特殊應用(如鋼帶振幅測量,路面平整度,高溫被測體,管道內(nèi)徑,石油鉆桿內(nèi)外螺紋測量等均可定制);
l針對串口,提供了運行應用的DLL開發(fā)庫,方便用戶開發(fā)應用軟件;
l非接觸位移精密測量;
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