產(chǎn)品名稱 | LSA-MN12四頻率半導(dǎo)體超聲波清洗機 |
類型 | 超聲波冷凝槽 |
適用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體、導(dǎo)體、硅晶、水晶玻璃、液晶屏 |
槽數(shù) | 1 |
用途 | 表面清潔處理 |
功能 | 超聲波+加熱+液體循環(huán)+溢流+冷凝降溫 |
包裝 | 工業(yè)纏繞薄膜 |
超聲清洗機 | 1臺 |
超聲發(fā)生器 | 1臺 |
內(nèi)槽尺寸 | 355×355×320 mm |
槽體材質(zhì) | 不銹鋼316 |
超聲功率 | 600W |
超聲頻率 | 40KHz、80KHz、200KHz、270KHz可切換 |
加熱調(diào)節(jié) | 0~60℃ |
電器控制 | PLC |
概述
半導(dǎo)體行業(yè)的原材料大部分都由電子器件和硅片組成的，因為半導(dǎo)體外形比較復(fù)雜，孔內(nèi)小，利用超聲波清洗機的高效率和高清潔度，得益于其聲波在介質(zhì)中傳播時產(chǎn)生的穿透性和空化沖擊疚，所以很容易將帶有復(fù)雜外形，內(nèi)腔和細空清洗干凈，在超聲波作用下只需兩三分鐘即可完成，其速度比傳統(tǒng)方法可提高幾倍，甚至幾十倍，清潔度也能達到高標準，提高了對半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率，更突出顯示了用其他處理方法難以達到或不可取代的結(jié)果
LSA-MN12四頻率半導(dǎo)體超聲波清洗機適，能有效去除硅片、晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。根據(jù)不同清洗工藝配置相應(yīng)的清洗單元，各部分有獨立控制，隨意組合，設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，凈化占地面積小，造型美觀、實用，操作符合人機工程原理。
普通的清洗方法一般不能達到孔內(nèi),而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會在后序工藝中會產(chǎn)生重復(fù)污染。無論是采用有機溶劑或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用超聲波清洗技術(shù)卻可以實現(xiàn)無重復(fù)污染,而且能深入MCP孔內(nèi)的效果。對不同材料及孔徑的MCP應(yīng)采用頻率、聲強可調(diào)的超聲波進行實驗,以確定實際工藝參數(shù)。對孔徑6~12μmMCP的清洗,當媒液為水和乙醇時,可采用空化閾約1/3 W/cm2,聲強10~20 W/cm2,頻率20~120 kHz的超聲波進行清洗。表1是同一段不同板號的MCP采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測試結(jié)果。由檢測結(jié)果可見,對1μm以下的小顆粒污染物,應(yīng)選用頻率40 kHz以上的超聲波進行清洗。
在硅片的清洗過程中，清洗液的溫度是一個關(guān)鍵因素。合適的清洗溫度能夠加快油污的去除，得到最佳的清洗效果。當硅片浸到清洗液中，硅片上的油污產(chǎn)生膨脹，油污內(nèi)部以及油污與硅片之間的作用力減弱，溫度越高，油污膨脹越大，這種作用力就越弱，表面活性劑分子越容易將油污撬離硅片表面。同時，溫度的變化可導(dǎo)致膠束本身性質(zhì)和被增溶物在膠束中溶解情況發(fā)生變化。只有溫度接近表面活性劑溶液的濁點溫度時，增溶能力最強，因而清洗液的溫度設(shè)定在60℃。
產(chǎn)品特點
1、一體式設(shè)計，緊湊，操作方便；
2、采用雷士四頻超聲波裝置，對超聲波無損傷；
3、配置過濾系統(tǒng)，有效節(jié)約水源；
4、清洗架特殊材質(zhì)，避免產(chǎn)品刮花；
5、配置油水分離及過濾系統(tǒng)，提供清洗劑的利用率；
6、操作簡單，具有手動和自動轉(zhuǎn)換功能；
7、PLC全程式控制，自動連續(xù)步進式清洗、干燥；
8、冷凝管整槽設(shè)計，降低清洗使產(chǎn)品溫度。
