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【君信達(dá)潔凈工程】無塵室污染源及控制方法

核心提示：一、室內(nèi)的空氣污染源及其傳播途徑1、室內(nèi)工作人員人員發(fā)塵是無塵室內(nèi)空氣污染源的最主要來源，占80%~90%。人動作時的發(fā)塵量相當(dāng)

一、室內(nèi)的空氣污染源及其傳播途徑

1、室內(nèi)工作人員

人員發(fā)塵是無塵室內(nèi)空氣污染源的最主要來源，占80%~90%。人動作時的發(fā)塵量相當(dāng)復(fù)雜，人靜止（或基本靜止）時的發(fā)塵量和激烈活動時的發(fā)塵量大約相差10倍。一個人在室內(nèi)活動時不可能都是激烈活動，如果取這些動作的平均，可以認(rèn)為一個人在室內(nèi)活動時的發(fā)塵量為其靜止（或基本靜止）時的5倍，即為：5×105粒/（min?人）。

根據(jù)工藝性質(zhì)、人的動作的多少和強(qiáng)弱的不同，這個倍數(shù)是不同的，可以分為較低（勞動強(qiáng)度極低或坐著操作，幾乎很少起來活動）和較高（勞動強(qiáng)度比一般水平高或活動比較頻繁）兩類，分別為3倍和7倍于靜止發(fā)塵量的數(shù)值，相應(yīng)為3×105粒/（min?人）和7×105粒/（min?人）。當(dāng)然，人體發(fā)塵量還與服裝有很大的關(guān)系，和服裝的洗晾、吹淋等也有很大關(guān)系。根據(jù)實(shí)際使用情況和實(shí)驗(yàn)測定，尼龍綢潔凈服發(fā)塵量最少，棉的確良潔凈工作服的發(fā)塵量比尼龍綢的大。如果在尼龍綢衣服內(nèi)加穿一件棉的確良工作服，則可使尼龍綢工作服的發(fā)塵量進(jìn)一步降低。此外，潔凈工作服不宜揉洗，洗后應(yīng)在潔凈環(huán)境中晾干。

2、設(shè)備及工藝發(fā)塵

設(shè)備的產(chǎn)塵以轉(zhuǎn)動設(shè)備尤為突出，電動機(jī)（尤其是帶炭刷的電機(jī)）、齒輪轉(zhuǎn)動部件、伺服機(jī)械部件、液壓和氣動啟動器開關(guān)或人工操作的設(shè)備，都會由于移動（轉(zhuǎn)動）著的表面之間的摩擦而產(chǎn)生微粒。日本及西方工業(yè)國家對無塵室常見的不同運(yùn)轉(zhuǎn)方式、不同速率、不同材質(zhì)的機(jī)械設(shè)備的典型動作和某些電器的產(chǎn)塵進(jìn)行了相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)研究。對無塵室的機(jī)械、電器污染源給出了一些塵粒散發(fā)量的可參考數(shù)值，為無塵室通風(fēng)設(shè)計提供了計算依據(jù)。

3、與無塵室相鄰的污染區(qū)域

與無塵室周邊相鄰或相通的，較低潔凈度的區(qū)域或非潔凈區(qū)域，由于人員、材料的進(jìn)出攜帶的污染空氣，或沉降在人員、物料上的污染物被帶入，是影響室內(nèi)潔凈度的另一個重要污染來源。合理的正壓差是減少通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙和傳遞窗、門、傳送帶開口等孔洞侵入污染空氣的重要措施。設(shè)在門口的氣閘室、緩沖室以及空氣吹淋室也有一定作用。但完全避免周邊污染區(qū)域?qū)o塵室環(huán)境的干擾與影響也是困難的，特別是無塵室在外門的附近區(qū)域。因此，關(guān)鍵工藝區(qū)域宜遠(yuǎn)離外門。

4、未經(jīng)過濾的送風(fēng)

在正常情況下，新建、改建無塵室或是末級過濾器更換后，按規(guī)范要求進(jìn)行了嚴(yán)格的驗(yàn)收檢測，則高效過濾器本身、高效過濾器與支撐框架的接觸面如有泄漏，都應(yīng)被查出并予以處理。此時，送風(fēng)系統(tǒng)不存在未經(jīng)過濾而進(jìn)入無塵室的空氣。值得防范和注意的是，在生產(chǎn)過程中未按操作規(guī)章不慎觸及脆弱的高效過濾器紙芯，或是高效過濾器支撐框架因振動、或是密封膠墊老化、變質(zhì)而致使高效過濾器與框架接觸面的密封墊或膠條出現(xiàn)裂隙，從而泄漏未經(jīng)過濾的空氣，污染無塵室，這也是日常監(jiān)測工作關(guān)注的重點(diǎn)。

5、原材料、包裝等

對進(jìn)入無塵室的設(shè)備、材料以及容器、包裝等的預(yù)清潔、拆包地點(diǎn)和方法，以及進(jìn)入無塵室的程序等，都應(yīng)該按照無塵室運(yùn)行管理的相關(guān)規(guī)范執(zhí)行。但即使嚴(yán)格按照相關(guān)規(guī)范和程序操作，仍然難以完全杜絕粘附在原材料、容器、包裝，特別是一些難以徹底清潔的產(chǎn)品的細(xì)小組件上的污染物被帶入無塵室。它們構(gòu)成了生產(chǎn)過程中的又一個重要污染源，而在這一點(diǎn)上往往容易被忽略。出現(xiàn)問題時，通常把注意力放在尋找空調(diào)凈化系統(tǒng)的缺陷上。

結(jié)束語

無塵室是一項(xiàng)綜合性技術(shù)的反映，在維護(hù)和管理控制中，需要進(jìn)行多方面考慮。無塵室使用前的檢測是正常使用的基本保證，使用中的維護(hù)和運(yùn)行管理更是對凈化環(huán)境的維持。通過技術(shù)手段的運(yùn)用、人員的管理、設(shè)備的狀況檢測、無塵室維護(hù)，可以提升無塵室效果。

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施工中必需遵循行業(yè)規(guī)則和順序凈化工程。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要凈化工程設(shè)備壽命,循環(huán)冷卻水需進(jìn)行水質(zhì)處置,三、裝置管理順序．無塵車間潔凈室施工管理制度．．背景．．．半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行。

現(xiàn)場的每一位人員都必需遵守凈化工程。．．．圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行凈化工程。這包括除了原料和廢品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的凈化工程。．．．潔凈室施工管理制度目前主要針對一期為了保證項(xiàng)目的勝利。

后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍依照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理凈化工程。．．與義務(wù) ．．．所有承包商有確保他工人都了解這些規(guī)則和程序，主廠房內(nèi)的局部改造和擴(kuò)建。并且在疏于遵從或違反時給予培訓(xùn)和訓(xùn)練凈化工程。被分配

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