掃描電鏡技術(shù)服務(wù)
掃描電鏡成象原理
掃描電鏡主要用二次電子觀察形貌,成像原理如圖所示。在掃描電鏡中,電子槍發(fā)射出來的電子束,經(jīng)三個電磁透鏡聚焦后,成直徑為幾個納米的電子束。末級透鏡上部的掃描線圈能使電子束在試樣表面上做光柵狀掃描。試樣在電子束作用下,激發(fā)出各種信號,信號的強(qiáng)度取決于試樣表面的形貌、受激區(qū)域的成分和晶體取向。設(shè)在試樣附近的探測器把激發(fā)出的電子信號接受下來,經(jīng)信號處理放大系統(tǒng)后,輸送到顯象管柵極以調(diào)制顯象管的亮度。由于顯象管中的電子束和鏡筒中的電子束是同步掃描的,顯象管上各點(diǎn)的亮度是由試樣上各點(diǎn)激發(fā)出的電子信號強(qiáng)度來調(diào)制的,即由試樣表面上任一點(diǎn)所收集來的信號強(qiáng)度與顯象管屏上相應(yīng)點(diǎn)亮度之間是一一對應(yīng)的。因此,試樣各點(diǎn)狀態(tài)不同,顯象管各點(diǎn)相應(yīng)的亮度也必不同,由此得到的象一定是試樣狀態(tài)的反映。放置在試樣斜上方的波譜儀和能譜儀是用來收集X射線,借以實現(xiàn)X射線微區(qū)成分分析的。值得強(qiáng)調(diào)的是,入射電子束在試樣表面上是逐點(diǎn)掃描的,象是逐點(diǎn)記錄的,因此試樣各點(diǎn)所激發(fā)出來的各種信號都可選錄出來,并可同時在相鄰的幾個顯象管上顯示出來,這給試樣綜合分析帶來極大的方便。
掃描電鏡取材要求:
由于電鏡電子束穿透能力的限制,必須把標(biāo)本切成厚度小于0.1um以下的薄片才適用,這種薄片稱為超薄切片。常用的超薄切片厚度是50-70nm。 在透射電鏡的樣品制備方法中,超薄切片技術(shù)是最基本、最常用的制備技術(shù)。超薄切片的制作過程基本上和石蠟切片相似,需要經(jīng)過取材、固定、脫水、浸透、包埋聚合、切片及染色等步驟。
小提示:
透射電鏡標(biāo)本先應(yīng)用超薄切片機(jī)(Ultrotome)進(jìn)行切片,再經(jīng)戊二醛和餓酸雙重固定,丙酮脫水,環(huán)氧樹脂包埋,超薄切片,醋酸枸椽酸電子又重染色,透射電鏡觀察。
掃描電鏡標(biāo)本經(jīng)戊二醛和餓酸雙重固定,乙醇逐級脫水,CO2臨界點(diǎn)干燥,真空噴金,掃描電鏡觀察。
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