Ⅰ：標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品ScanStep-T400

SST系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是星微科技持續(xù)在高級(jí)材料、特有加工技術(shù)、精密結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計(jì)上不斷投入的結(jié)果，我們研發(fā)的目標(biāo)是為今天要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備提供高精度和高產(chǎn)出率的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，同時(shí)是我們有著在迎接未來(lái)的挑戰(zhàn)中保持領(lǐng)先的技術(shù)能力SST氣浮平臺(tái)能滿足在電子及半導(dǎo)體加工、檢測(cè)設(shè)備的具有挑戰(zhàn)性的要求。

     傳統(tǒng)的平面式XY雙驅(qū)氣浮平臺(tái)都采用雙氣浮導(dǎo)向?qū)к壍男问剑?/span>空氣軸承的精度比滾動(dòng)軸承高兩個(gè)數(shù)量級(jí)，具有精度高、摩擦低、可以在極限工作環(huán)境下工作等等有點(diǎn)，而氣浮導(dǎo)軌具有高承載力、高剛度、高速度、高精度、無(wú)摩擦、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)，雙氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)在安裝調(diào)試時(shí)對(duì)導(dǎo)軌本身的精度以及導(dǎo)軌之間的平行度要求極高，并且該結(jié)構(gòu)形式對(duì)環(huán)境恒溫要求也很高；SST系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為了解決這些問(wèn)題采用了開(kāi)放式T型氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，T型結(jié)構(gòu)具有機(jī)械安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，對(duì)環(huán)境的恒溫要求低，便于集成到客戶產(chǎn)品當(dāng)中。

SST系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用U型槽式直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，這種電機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，定位精度高，反應(yīng)速度快、靈敏度高，隨動(dòng)性好，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸傳遞力，機(jī)械摩擦損耗幾乎為零，所以故障少，免維修，因而工作安全可靠、壽命長(zhǎng)，結(jié)合高分辨率海德漢光柵尺以及改進(jìn)的模糊PID閉環(huán)智能控制技術(shù)，通過(guò)調(diào)整控制器中速度環(huán)參數(shù)，并在位置環(huán)中加入微分控制來(lái)改善系統(tǒng)的阻尼，從而提高平臺(tái)的性能。在速度環(huán)中采用極點(diǎn)配置并加入適當(dāng)?shù)那梆佈a(bǔ)償，使平臺(tái)達(dá)到很高的加速度和定位精度。

      憑借研發(fā)團(tuán)隊(duì)在材料、設(shè)計(jì)、分析方面的專業(yè)技術(shù)對(duì)平臺(tái)整體進(jìn)行不斷設(shè)計(jì)優(yōu)化，非接觸的氣浮軸承的應(yīng)用與磁預(yù)載的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦的平滑運(yùn)動(dòng)，使SST系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)達(dá)到微米~納米的定位精度及重復(fù)定位精度。ABLS系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)最大加速度可以達(dá)到2G，最大速度500MM/s，最高精度0.5uM。

Ⅱ：產(chǎn)品技術(shù)

◆平面XY運(yùn)動(dòng)氣浮平臺(tái)

◆花崗巖基座、緊湊式整體

◆集成式壓力、真空氣浮元件

◆ScanStep-T400氣浮平臺(tái)主要應(yīng)用于需要高精度、高重復(fù)性和高產(chǎn)出率的系統(tǒng)。

Ⅲ：關(guān)鍵性指標(biāo)

◆行程：400mm& 400mm

◆加速度：1G-X軸、2G-Y軸

◆速度：500mm/s

◆重復(fù)性：±40nm

◆精度：0.5um（直線編碼器）

◆小于0.1%的速度紋波

◆Settling time（±100nm）：<100ms

◆自然頻率：100Hz

Ⅳ：應(yīng)用領(lǐng)域

◆科研

◆激光加工制造

◆半導(dǎo)體制造、檢測(cè)

◆工業(yè)制造

◆電子零件生產(chǎn)、組裝

◆平面顯示器制造、檢驗(yàn)