ABLS系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是星微科技一款面向高精度、高端應(yīng)用市場(chǎng)的氣浮直線平臺(tái)。憑借研發(fā)團(tuán)隊(duì)在材料、設(shè)計(jì)、分析方面的專業(yè)技術(shù)對(duì)平臺(tái)整體進(jìn)行不斷設(shè)計(jì)優(yōu)化，采用非接觸的氣浮軸承與磁預(yù)載的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦的平滑運(yùn)動(dòng)，使ABLS系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)達(dá)到微米~納米的定位精度及重復(fù)定位精度。 

    ABLS系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)主要構(gòu)成部分，包括底座、導(dǎo)軌、氣浮滑塊和頂板等，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。定位平臺(tái)的懸浮工作原理是在供氣孔道中通入一定氣壓的壓縮空氣，氣體經(jīng)過(guò)節(jié)流孔在氣浮滑塊與導(dǎo)軌、底座的相對(duì)面中形成 10μm 左右的氣膜并產(chǎn)生一定的懸浮力,氣膜支撐氣浮滑塊與頂板組成的滑臺(tái)作一維直線運(yùn)動(dòng)，當(dāng)懸浮力與實(shí)驗(yàn)平臺(tái)重量平衡時(shí)，這個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)處于穩(wěn)定懸浮狀態(tài)。當(dāng)作為系統(tǒng)負(fù)載的氣浮滑塊發(fā)生變化或者有外界干擾時(shí),系統(tǒng)本身通過(guò)改變氣浮滑塊與導(dǎo)軌之間的縫隙量改變懸浮力達(dá)到重新平衡；具有一定的自主調(diào)節(jié)能力,氣膜支撐氣浮滑塊與頂板組成的滑臺(tái)作一維直線運(yùn)動(dòng)。

        滑臺(tái)由氣浮導(dǎo)軌和頂板組成，是作為精密定位的部件，承載需要作精密定位的零件或工具，并且光柵尺的讀頭也安裝在頂板的側(cè)面，通過(guò)利用三維建模軟件Pro/E的參數(shù)化造型方法構(gòu)造零件的三維模型，通過(guò)對(duì)三維零部件結(jié)構(gòu)特征的修改，使機(jī)構(gòu)的空間布局合理，以滿足裝配、制造等方面的要求。然后對(duì)平臺(tái)進(jìn)行靜力學(xué)和動(dòng)力學(xué)分析，以尋求最佳設(shè)計(jì)參數(shù)的組合，進(jìn)行有限元的模態(tài)分析，校核其動(dòng)態(tài)剛度，并分析相關(guān)參數(shù)對(duì)結(jié)構(gòu)剛度的影響，最終使超精密氣浮定位平臺(tái)滿足動(dòng)態(tài)剛度的要求。通過(guò)仿真分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證的方法研究小孔節(jié)流式靜壓空氣軸承的幾何參數(shù)對(duì)軸承性能的影響，得出軸承具有較高的承載能力、剛度和較小氣體流量時(shí)各幾何參數(shù)的合理比例，同時(shí)給出軸承設(shè)計(jì)和預(yù)測(cè)軸承內(nèi)是否會(huì)出現(xiàn)超音速氣流的簡(jiǎn)便方法。

    氣浮導(dǎo)軌是以氣體為潤(rùn)滑劑支撐的導(dǎo)軌,具有高承載力、高剛度、高速度、高精度、無(wú)摩擦、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn),在精密機(jī)械中得到廣泛的應(yīng)用。氣浮導(dǎo)軌作為氣浮平臺(tái)系統(tǒng)關(guān)鍵部件,其承載能力、剛度、穩(wěn)定性與導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),如節(jié)流孔直徑、節(jié)流器分布、氣膜厚度等密切相關(guān)。

    ABLS系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用U型槽式直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，這種電機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，定位精度高，反應(yīng)速度快、靈敏度高，隨動(dòng)性好，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸傳遞力，機(jī)械摩擦損耗幾乎為零，所以故障少，免維修，因而工作安全可靠、壽命長(zhǎng)，結(jié)合高分辨率海德漢光柵尺以及PID閉環(huán)智能控制技術(shù)，ABLS系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)最大加速度可以達(dá)到2G，最大速度2M/s，最高精度0.3uM。

    ABLS系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、IC 封裝設(shè)備、納米表面形貌測(cè)量等領(lǐng)域提供一個(gè)能夠?qū)崿F(xiàn)精密定位和精確運(yùn)動(dòng)的載物平臺(tái)，在先進(jìn)的電子制造設(shè)備比如光刻機(jī)貼片機(jī)等，高性能的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是其工作的主要機(jī)構(gòu)。此外，在還可作為微型機(jī)電系統(tǒng)的制造和檢測(cè)、光學(xué)測(cè)量加工領(lǐng)域、超精密機(jī)械加工、航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)量制造等精密定位的理想選擇。