電容位移傳感器ZNXsensor介紹

采用電子顯微鏡進(jìn)行納米操作,在硬件裝備中有一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),那就是要解決載物臺或其相應(yīng)設(shè)備的高精度的自動測量和精確定位。要實(shí)現(xiàn)這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),高精度控制系統(tǒng)是非常重要的。傳感器的使用是閉環(huán)控制中必不可少的一環(huán)，傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。

而對于緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容位移傳感器進(jìn)行檢測比較適宜，主要是這類傳感器具有以下突出優(yōu)點(diǎn)：測量范圍大、靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)快、穩(wěn)定性好。（注：電容位移傳感器是迄今為止精度最高的。）

下面我將為大家介紹一款電容位移傳感器：深圳市真尚有科技有限公司的ZNXsensor型超精密電容位移傳感器（雙通道電容傳感器），這是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。ZNXsensor電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域主要為：壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。

其主要特點(diǎn)有：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項(xiàng)；

歡迎有相關(guān)項(xiàng)目需求的客戶來電垂詢！

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