支撐位移上真空室的四根連桿，每根長軸上的前后二根，必須保持平行，左右二組連桿也必須相對保持平行，以確保上真空室在左右任何位置均同下真空室保持平行，否則，造成上、下真空室不能保持平行，則操作壓力明顯加大，嚴(yán)重時甚至不能正常建立真空。

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