型號(hào)（XY工作臺(tái)尺寸） | 1010C | 2010C | 2017C | 3017C | 4020C | |
貨號(hào) | MF-A | 176-662* | 176-663* | 176-664* | 176-665* | 176-666* |
MF-B | 176-682* | 176-683* | 176-684* | 176-685* | 176-686* | |
XY工作臺(tái)行程范圍 | 100*100mm | 200*100mm | 200*170mm | 300*170mm | 400*200mm | |
Z軸移動(dòng)范圍 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm | |
調(diào)焦方式 | 手動(dòng)調(diào)焦（粗調(diào)焦：30mm/rev.,微調(diào)焦：0.2mm/rev.) | |||||
測(cè)量方法 | 線性編碼器（2軸型：X/Y軸，3軸型：X/Y/Z軸） | |||||
分辯率（可轉(zhuǎn)換） | 0.001mm/0.0005mm/0.001mm | |||||
測(cè)量精度（20℃時(shí)） | XY軸：（2.5+0.02L)um ，L為無(wú)負(fù)載測(cè)量長(zhǎng)度（mm），JISB7153 | |||||
指示精度（20℃時(shí)） | Z軸：（5+0.04L)um,L為測(cè)量長(zhǎng)度（mm） | |||||
浮動(dòng)功能 | 帶有快速釋放功能的X和Y軸 | |||||
XY工作臺(tái)臺(tái)面尺寸 | 280*280mm | 350*280mm | 410*342mm | 510*342mm | 610*342mm | |
載物玻璃有效尺寸 | 180*180mm | 250*150mm | 270*240mm | 370*240mm | 440*240mm | |
旋轉(zhuǎn)功能 | — | — | ±5°(左） | ±5°（左) | ±3°(左） | |
臺(tái)面最大承重 | 10kg | 20kg | 20kg | 20kg | 15kg | |
最大工件高度 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm | |
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