分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。尤其是脂潤滑分子泵，作為超高真空領(lǐng)域的真空獲取設(shè)備，因其啟動塊、能耗低、運轉(zhuǎn)壽命長、可靠性高、可獲得完全無油的清潔真空等特點，近年在真空技術(shù)應用領(lǐng)域逐漸普及。

技術(shù)參數(shù)

FF-250/1600

抽氣速率（1/s）：1600

壓縮比：N2：108；H2：5×105

極限壓強（Pa）：≤1×106

額定轉(zhuǎn)速（rpm）：27000

軸承：陶瓷軸承（耐腐蝕泵需通保護氣體）

排氣口法蘭：KF40 （DN40 ISO-KF）

進氣口法蘭：LF250(DN250 ISO-K)

振動值（(μm)）::  ≤0.1

冷卻水溫度（℃）：≤25

泵體烘烤溫度：≤100

環(huán)境溫度（℃）：5-40

充油量（ml）：150

安裝方式：豎直±50

重量（kg）：47

分子泵與擴散泵及其他超高真空泵相比有以下特點：

　極限壓力低，先進的泵能獲得10-8Pa的極限壓力；

　工作壓力范圍廣，在九個數(shù)量級的范圍內(nèi)有穩(wěn)定抽速；

　結(jié)構(gòu)緊湊，由置于泵體內(nèi)的中頻電機直接驅(qū)動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動；

　體積小，抽速大，獲得的高真空系統(tǒng)清潔無油；

　工作震動小，噪音低，工作平穩(wěn)，啟動時間短，效率高；

　耗能少，節(jié)省能源，是一種省電配置。

KYKY系列分子泵應用領(lǐng)域很廣，主要應用在太陽能光伏、LOW-E玻璃、半導體制造、真空檢漏、真空鍍膜、制燈、光盤、分析儀器等諸多行業(yè)。