型號:HISOMETDHII

品牌：日本UNION

HISOMETDHII測量顯微鏡由Union光學(xué)株式會(huì)社生產(chǎn)，Union光學(xué)株式會(huì)社為日本綜合光學(xué)機(jī)器廠商，

DHII測量顯微鏡是由UNION的專利研發(fā)生產(chǎn)，采用裂像圖案的輔助聚焦系統(tǒng) ,通過裂像的上下標(biāo)記線重合來得到確切的對焦面 ,而不是通過觀察工件表面是否清晰來人為判斷 ,因此可以得到非常高精度的高度測量 .此測量顯微鏡在半導(dǎo)體封裝和電子裝配應(yīng)用領(lǐng)域中已充分表現(xiàn)出其獨(dú)特性能和精度，是業(yè)界的首選裂像圖案的輔助聚焦系統(tǒng)

此設(shè)備采用Union光學(xué)株式會(huì)社專有的裂像輔助對焦系統(tǒng)，能在測高方面達(dá)到1微米的精度。完全勝過尼康NIKON、奧林巴斯OLYMPUS等同類型測量顯微鏡。

1.測量金線弧高 ,晶片高度和基板高度晶片的刻線寬度 ,距離和位置等平面尺寸

A:測量金線弧高進(jìn)行對焦

B：測量晶片高度進(jìn)行對焦

C:對基板進(jìn)行對焦測量

2.測量晶片表面四周 1-2-3-4點(diǎn)的高度差 ,可以評估封裝后晶片的平面度 /共面性. 

3.現(xiàn)在 8”和 12”晶圓是趨勢和晶圓級封裝技術(shù)采用 ,需要快速一次進(jìn)行平面和高度 /階梯測量,因此測量顯微鏡工作臺行程 200X200mm和 300X300mm已成為必需 ,同時(shí)根據(jù)工藝的要求,可以選用不同的臺面 ,如標(biāo)準(zhǔn)的方玻璃臺面 ,特配的可旋轉(zhuǎn)圓臺面 ,或者晶圓托盤 . 

產(chǎn)品詳情: http://www.wyldar.com/productshow.asp?id=1006