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本節(jié)所含信息是關于影響潔凈室和潔凈生產設施主要結構部件的靜電事項，其中包括建筑材料，空氣處理和通風系統(tǒng)，地板，設施接地系統(tǒng)，加濕系統(tǒng)和物料輸送系統(tǒng)。其目的是使設計出的潔凈室、潔凈廠房和環(huán)境能夠控制靜電荷的產生以及ESD、ESA問題。
1.1 建筑
靜電控制事項適用于潔凈環(huán)境的墻板、地板、窗戶和天花板構件（包括照明裝置），以及出入口、前廳、更衣區(qū)和風淋室等。潔凈環(huán)境的建筑材料應盡可能是導靜電或者靜電耗散的，而又不降低在結構，污染控制或工藝方面的要求。為它們所設置的接地路徑在建造過程中應予以驗證，并在隨后進行定期檢查。應注意連接墻板、地板和天花板構件的緊固方法，以確保維持可靠的接地路徑。建筑材料靜電控制性測量方法。
一個隔開的導體對產品或設備的危害往往比絕緣體更大，因為它能夠單次靜電放電事件轉移其所有靜電荷。避免使用其上可能有絕緣的涂層或涂料的導電材料。涂層可能會帶電，并在導體上感應電荷。如涂層薄或受損，其結果可能是對附近導電的或接地的表面的靜電放電事件。
潔凈室建造材料必須滿足設施對污染控制的所有要求，規(guī)定材料的導電或靜電耗散范圍，可能會限制對材料的選擇。為保護敏感構件免于ESD，可能要在建筑應用中使用靜電耗散材料。而首選導電材料還有其他原因。
靜電放電（ESD）的影響
1.1 ESD的問題
靜電放電（ESE）是不同靜電電位的兩個物體之間電荷的非受控制轉移。ESD最常見的結果是靜電敏感產品的損壞及設備故障。
在半導體和電子行業(yè)以及醫(yī)療或光學設備、記錄介質薄膜的制造，這類事例常常發(fā)生。為了減少靜電放電帶來的損失推薦操作作業(yè)時使用防靜電工作臺，保障生產安全。
1.2 行業(yè)中關注的ESD
在半導體電子生產的，為滿足微型化、更高性能，更快運行速度的需要，器件的幾何尺寸越來越小。這就造成了半導體晶片上分離器件的更高密度，ESD事件通過各種機制如融化、金屬涂覆線氣化、薄氧化層穿孔等，造成器件損壞或故障。ESD事件還可降低器件質量，使其形成潛在的缺陷或“帶病運行”。該器件雖能通過生產測試，但會過早失效。
醫(yī)療、光學和介質薄覆膜產業(yè)，也被稱為對“靜電荷或靜電放電敏感”。在基板上沉積薄膜時，靜電事件隨時可損壞產品。
1.3
ESD對設備運行的影響
ESD不但會損壞產品，ESD事件還會影響產品的生產設備。許多生產設備的控制功能使用的是微處理器，ESD事件還會影響產品的生產設備。許多生產設備的控制功能使用的是微處理器，ESD事件產生的電磁干擾（EMI）的輻射效應或傳導效應，可干擾這類設備的運行。一臺設備發(fā)生ESD事件所產生的電磁干擾，有可能影響附近設備的運行。
由于潔凈室的自動化程度越來越高，其運行往往是由計算機化的工廠管理系統(tǒng)（FMS）控制的。ESD事件造成一臺設備的一個數(shù)據(jù)問題，則整個工廠的運行都會受到影響。雖然機器關機通常不是災難性問題，但它可造成停產，降低加工速度，有時還有產品損失。生產工藝的低效率增加了生產成本。
1.3 手套和指套，東莞天安防雷公司葉經理
戴手套或指套通常是為了防止人員污染產品或工藝設備（例如，皮膚油脂，皮屑，離子污染物等）。它們也可以用來保護人員免于危險材料和化學品、反復研磨動作和鋒利物體的傷害。此外，一些手套、指套還可用于靜電荷耗散。
在作業(yè)過程中，根據(jù)手套材料和加工物體的材料成分，手套和指套可使自身摩擦起電或使得其他材料摩擦起電。雖選擇手套或指套材料可最大限度減少特定的起電，但很難找到一種能最大限度地降低潔凈室中多種物體起電的材料。
具有潔凈相適性的靜電耗散/導靜電手套可用于食用的場所。雖然指套通常不會在分級的潔凈室中穿戴。但在防止產品污染和所具有的防靜電物性方面，它們如手套一樣重要。靜電耗散手套和指套是將人員所處置的物體上靜電荷以一種無害、可控的方式消除，它們通常不被視為是穿戴著它們的人員身上的接地裝置。
制造商有很多不同的手套材料。通常參碳或將導電材料與聚合物基材混合，可使制作出的手套具有導電性或靜電耗散型性。還可以用具有導電性或低起電性或靜電耗散性。還可用具有導電性或低起電性的化學藥劑對它們進行了表面或整體處理。有一些手套的材質，如丁腈橡膠，天然具有靜電耗散性能。
一些手套制造商使用滑石粉或爽身粉減少手套汗液，提高舒適度，但它對產品或工藝可能是一種污染物。特別應注意，可能因磨損或其他物理的或化學的相互作用造成手套顆粒物的脫落。建議采用實際產品和模擬的工藝條件，測試手套或指套起電性。
導電手套和靜電耗散手套應通過用戶佩戴的腕帶、防靜電服、“連體兔裝”、或鞋具/地板系統(tǒng)接地。
