如何防止靜電5

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本節(jié)所含信息是關(guān)于影響潔凈室和潔凈生產(chǎn)設(shè)施主要結(jié)構(gòu)部件的靜電事項(xiàng)，其中包括建筑材料，空氣處理和通風(fēng)系統(tǒng)，地板，設(shè)施接地系統(tǒng)，加濕系統(tǒng)和物料輸送系統(tǒng)。其目的是使設(shè)計(jì)出的潔凈室、潔凈廠房和環(huán)境能夠控制靜電荷的產(chǎn)生以及ESD、ESA問(wèn)題。

1.1 建筑

    靜電控制事項(xiàng)適用于潔凈環(huán)境的墻板、地板、窗戶和天花板構(gòu)件（包括照明裝置），以及出入口、前廳、更衣區(qū)和風(fēng)淋室等。潔凈環(huán)境的建筑材料應(yīng)盡可能是導(dǎo)靜電或者靜電耗散的，而又不降低在結(jié)構(gòu)，污染控制或工藝方面的要求。為它們所設(shè)置的接地路徑在建造過(guò)程中應(yīng)予以驗(yàn)證，并在隨后進(jìn)行定期檢查。應(yīng)注意連接墻板、地板和天花板構(gòu)件的緊固方法，以確保維持可靠的接地路徑。建筑材料靜電控制性測(cè)量方法。

    一個(gè)隔開(kāi)的導(dǎo)體對(duì)產(chǎn)品或設(shè)備的危害往往比絕緣體更大，因?yàn)樗軌騿未戊o電放電事件轉(zhuǎn)移其所有靜電荷。避免使用其上可能有絕緣的涂層或涂料的導(dǎo)電材料。涂層可能會(huì)帶電，并在導(dǎo)體上感應(yīng)電荷。如涂層薄或受損，其結(jié)果可能是對(duì)附近導(dǎo)電的或接地的表面的靜電放電事件。

    潔凈室建造材料必須滿足設(shè)施對(duì)污染控制的所有要求，規(guī)定材料的導(dǎo)電或靜電耗散范圍，可能會(huì)限制對(duì)材料的選擇。為保護(hù)敏感構(gòu)件免于ESD，可能要在建筑應(yīng)用中使用靜電耗散材料。而首選導(dǎo)電材料還有其他原因。

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增濕：靜電安全區(qū)的室溫為23℃±3℃，相對(duì)濕度為45-70%RH。嚴(yán)禁防護(hù)區(qū)濕度小于30%。

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防護(hù)

ü       防靜電工作服和靜防護(hù)帽及手套：用于屏蔽工作人員所著衣裝和頭發(fā)在活動(dòng)行走及工作時(shí)產(chǎn)生的靜電。

ü       防靜電周轉(zhuǎn)箱、防靜電元件盒：用于車間產(chǎn)品和元器件批量的周轉(zhuǎn)，運(yùn)輸及儲(chǔ)存。

ü       防靜電屏蔽袋：用于單個(gè)產(chǎn)品和元器件的包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存，具有一定的防潮效果。

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防靜電料條及托盤：用于生產(chǎn)車間少量元器件和產(chǎn)品的儲(chǔ)存、搬運(yùn)。禁止在使用前，露天存放或拆開(kāi)包裝運(yùn)輸。

⑶ 確保設(shè)備、設(shè)施和作業(yè)場(chǎng)所的靜電安全①控制易燃、易爆的液體或粉體使爆炸性化合物濃度在燃燒、爆炸的極限濃度之下②保持作業(yè)場(chǎng)所各種接地設(shè)施和系統(tǒng)（雷電保護(hù)、故障保護(hù)、信號(hào)參考、大地電極、防靜電操作等）正確和有效接地③控制作業(yè)區(qū)內(nèi)各點(diǎn)靜電電位在標(biāo)準(zhǔn)允許的范圍之內(nèi)④安裝局部放電器、放電刷等，以通過(guò)電暈放電不斷釋放靜電能量使其積累的能量在安全范圍之內(nèi)⑤嚴(yán)格靜電安全作業(yè)操作規(guī)程4．嚴(yán)格防靜電管理⑴ 立健全責(zé)任制和規(guī)章制度①建立健全各類人員（領(lǐng)導(dǎo)者、技術(shù)和管理人員、操作人員）的靜電安全防護(hù)管理職責(zé)，并備有檢查制度②建立靜電安全事故分析制度③編制具體詳細(xì)的防靜電操作規(guī)程④對(duì)設(shè)備、裝置、器材、器具、工具等的防靜電性能要求建立定期檢測(cè)制度⑤建立產(chǎn)品靜電損害機(jī)理分析制度⑵ 培訓(xùn)教育①針對(duì)領(lǐng)導(dǎo)者、管理和技術(shù)人員、操作人員等不同層次和不同崗位的人員，實(shí)施有關(guān)防靜電意識(shí)、知識(shí)、技術(shù)和安全要求教育②針對(duì)不同崗位操作人員進(jìn)行操作技能培訓(xùn)及考核