電容傳感器ZNXsensor介紹

什么叫電容傳感器？

用電測(cè)法測(cè)量非電學(xué)量時(shí)，首先必須將被測(cè)的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換為電學(xué)量而后輸入之。通常非電學(xué)量變換成電學(xué)量的元件稱為變換器；根據(jù)不同非電學(xué)量的特點(diǎn)設(shè)計(jì)成的有關(guān)轉(zhuǎn)換裝置稱為傳感器，而被測(cè)的力學(xué)量（如位移、力、速度等）轉(zhuǎn)換成電容變化的傳感器稱為電容傳感器。

 ZNXsensor型超精密電容傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器，每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不用的測(cè)量范圍；納米分辨率；零磁滯。

 ZNXsensor電容傳感器應(yīng)用領(lǐng)域主要為：壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。

主要特點(diǎn)：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項(xiàng)；

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