電容傳感器ZNXsensor介紹
什么叫電容傳感器?
用電測法測量非電學量時,首先必須將被測的非電學量轉換為電學量而后輸入之。通常非電學量變換成電學量的元件稱為變換器;根據不同非電學量的特點設計成的有關轉換裝置稱為傳感器,而被測的力學量(如位移、力、速度等)轉換成電容變化的傳感器稱為電容傳感器。
ZNXsensor型超精密電容傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器;兩個傳感器板形成一個平行板電容器,每個傳感器可用在兩個不用的測量范圍;納米分辨率;零磁滯。
ZNXsensor電容傳感器應用領域主要為:壓電微位移、振動臺,電子顯微鏡微調,天文望遠鏡鏡片微調,精密微位移測量等。
主要特點:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滯;
線性最高0.02%;
頻帶可調:50~5000Hz;靈敏度可調;
真空兼容選項;
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