型號

Spectra Bench Optical

Spectra Floor Optical

量測行程

300x150x75mm

300x150x75mm

外形尺寸

950x1075x1025mm

950x1075x1775mm

重量

114kg

146kg

承載重量

9kg

平臺材質(zhì)

鋼構(gòu)

傳動方式 X&Y

Steel Balls And Rods

XY 精度

Ux=2.5+L/25μm ，Uy=2.5+L/15μm

Z 精度

U=2.5 μm

XY 重現(xiàn)性

12.5μm

Z 重現(xiàn)性

7.5μm

光學(xué)尺分辨率

2.0 μm

影像

14’’ Erected, Bright And Sharp

光源

輪廓光,表面光

鏡頭/放大倍率

10x, 20x, 31 1/4x, 40x, 50x, 100x

量測系統(tǒng)

Q16 Metrology Box 或 Optional Inspec Software

工作環(huán)境

20℃±2°, 30-80% 濕度

電源系統(tǒng)

110 或 220 VAC