電容式傳感器ZNXsensor 電容位移傳感器
電容式傳感器是一種非接觸式的電容式傳感器;兩個傳感器板形成一個平行板電容器,每個電容式傳感器可用在兩個不用的測量范圍;納米分辨率;零磁滯。
電容式傳感器應(yīng)用領(lǐng)域:
壓電微位移、振動臺,電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測量等。
電容式傳感器主要特點:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滯;
線性最高0.02%;
頻帶可調(diào):50~5000Hz;靈敏度可調(diào);
真空兼容選項;
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