*的極限壓力完全無油無水
干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉(zhuǎn)子型線,動力節(jié)省30%,排氣溫度低,工藝穩(wěn)定,此產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝,也維持了*的真空效率和耐用性。
不使用油和水,用可變壓縮方式操作,水蒸氣和液態(tài)混合工藝,非常適合干燥,溶劑回收,化工,制藥,塑料等各種真空工藝。
優(yōu)點及特征:
?吸入效率(提升15%)。
?排氣效率改善(2級可變,連續(xù)可變頻率)。
?極限壓力:1*10-2Torr(托)。
?排氣溫度降低50%。
?電力消耗減少30%。
?不使用油和水,不會造成油和水的污染。
?低功耗、低噪音、低振動,動平衡好,沒有慣性力,可高速運行。
?設計結(jié)構(gòu)簡單,易保養(yǎng),維修費用低,沒有易損件,壽命長。
?適用范圍廣,具有高真空性能。
?使用壽命長,氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。
?不采用機械密封,密封部件無污染,不會因污染而頻繁發(fā)生故障。
?前后采用稀有潤滑方式,提高軸承耐用性。
干式螺桿泵的應用范圍:
在半導體合成及液晶生產(chǎn)上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。
在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
制藥行業(yè),用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
工業(yè)排氣;
集中式真空處理系統(tǒng)
擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
混合樹脂脫腥工藝;
在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。
涉及無憂污水真空處理的所有應用
食品行業(yè)用于香料,香精濃度,食品包裝等。