Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。

Edwards的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)一流的性能，最大的制程靈活性。

STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。

此 STP 泵在供貨時(shí)帶有入口篩網(wǎng)。

如需完整安裝，請訂購一臺(tái) STP 泵、一個(gè)控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。

技術(shù)參數(shù)

入口法蘭 ISO100，CF100

出口       KF25

抽速       N2  300 ls-1

            H2  300 ls-1

壓縮比    N2 >108

            H2 >2 x104

加熱時(shí)的極限壓力（VG/ISO 法蘭）

            6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8Torr)

加熱時(shí)的極限壓力（ICF 法蘭）

            10-8 Pa (10-10 Torr)

最大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）

            0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)

最大連續(xù)出口壓力（環(huán)境空氣冷卻）

           13 Pa(0.1 Torr)

額定速度

           48000rpm

啟動(dòng)時(shí)間

           3 min

最高入口法蘭溫度

          120 °C

輸入電壓

          100 至 120 (± 10%) V 交流或

          200 至 240 (± 10%) V 交流

啟動(dòng)時(shí)的功耗

          0.55 kVA

泵重量

         11 kg

控制器重量

         7 kg

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