渦輪分子泵和分子增壓泵的工作原理 如要用通俗些的話語來說明兩種泵的工作原理,可用家樂福超市的傳送帶式的電梯比作分子增壓泵的拖動原理;而用“陷阱”(比較牽強)來形容渦輪分子泵的傳輸幾率原理。
氣體通過葉列的傳輸幾率也是相同的。當(dāng)葉列以不同的速率大小和方向(正向或反向)運動時,根據(jù)相對運動的觀點,葉列兩邊的氣體相對葉列的運動狀態(tài)可以由圖7中標(biāo)號1到5來描述,其中任何一種狀態(tài)下,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率都是相同的。
但是如果讓葉列向運動的方向傾斜時,情況就不一樣了。首先,如圖8,讓葉列向右傾斜,但葉列靜止不動,那么兩側(cè)氣體通過葉列的傳輸幾率仍然是相同的,然葉列一運動(向右),如圖9,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率就不相同了,顯然此時從上向下的傳輸幾率要大于從下向上的傳輸幾率,而且隨著葉列運動速度的增大,上、下傳輸幾率的差異也增大。當(dāng)然與空弦比、傾斜角也有關(guān)。當(dāng)葉列的運動速度趨向無窮大時(這是一種理想的情況),即如圖10所示,上、下傳輸幾率的差異可以達到最大值。所以渦輪 分子泵的抽速,除了受到制造技術(shù)上的限制,其本身就存在一個物理上的極限。