這種泵具體可分為:1)牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅(qū)送到泵的出口。2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。
以上所介紹的抽氣模型是徑向抽氣,即從四周進(jìn)氣,壓縮到軸心。用相同的動(dòng)輪 和靜輪相間組合,能形成多個(gè)抽氣模型的并聯(lián)抽氣,這便是分子增壓泵的吸氣級(jí),不難理解這樣的組合能產(chǎn)生的抽氣速率完全可以達(dá)到渦輪分子泵的水平,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過傳統(tǒng)的拖動(dòng)泵的抽速和流量。