分子泵的清洗： 7．上下活動分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉(zhuǎn)子的葉片清洗，在無水酒精中浸泡大概5～10分鐘。 8．換掉無水酒精，加入新的無水酒精，重復(fù)前面的工作，最少要重復(fù)一次。 9．拿出分子泵。 10．將高真空接口朝上，從垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性軸承中的酒精。 11．用一個(gè)網(wǎng)格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一個(gè)泵抽大概30分鐘左右。注意接口的密封表面不要損壞。 12．接上前級真空泵，不要開分子泵，利用前級泵抽真空，達(dá)到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中殘留的無水酒精。 13．更換真空泵中的真空油，接上分子泵開始工作。 注意第一次抽真空時(shí)是比較慢，這是因?yàn)榉肿颖弥杏袣埩舻木凭?，屬于正常情況，不必憂慮。
以上所介紹的抽氣模型是徑向抽氣，即從四周進(jìn)氣，壓縮到軸心。用相同的動輪 和靜輪相間組合，能形成多個(gè)抽氣模型的并聯(lián)抽氣，這便是分子增壓泵的吸氣級，不難理解這樣的組合能產(chǎn)生的抽氣速率完全可以達(dá)到渦輪分子泵的水平，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過傳統(tǒng)的拖動泵的抽速和流量。
