泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外,還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對氫為102~104;對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的極限壓力為10-9帕,工作壓力范圍為10-1~10-8帕,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1升=10-3米3)。渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的優(yōu)越性,因此要求配有工作壓力為1~10-2帕的前級真空泵。分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000~60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動機直聯(lián)驅(qū)動。
分子增壓泵的特點 由分子增壓泵工作機理和結(jié)構(gòu)決定了該泵具有一系列特點供人矚目。 1.工作壓力高。只要預(yù)抽壓力低于100Pa即可切入工作。預(yù)抽時間縮短;提高預(yù)抽壓力可有效抑制前級泵的返油。 2.分子增壓泵開始抽氣便進入所謂“恒流量”工作模式(相關(guān)文章曾做過介紹),中真空有很高的抽氣效率。 3.節(jié)省了羅茨增壓泵。 4.分子增壓泵對前級泵的抽速要求較低。 5.很強的抗高壓強甚至大氣的沖擊能力。 6.軸承尺寸小,機械軸承的壽命超過2萬小時。