電渦流位移傳感器半導(dǎo)體晶片的定位（化學(xué)氣相沉淀）
目標(biāo)
1 通過化學(xué)氣相沉淀方法將統(tǒng)一的膠片應(yīng)用在硅晶片上。
2 使化學(xué)物質(zhì)沉淀在晶片上。
解決方案
在沉淀開始前，Kaman電渦流傳感器確保金屬盤與噴灑器保持平行的位置關(guān)系，噴灑器用來均勻噴射氣體(如圖所示)。傳感器則用來做校準(zhǔn)裝置，這樣校準(zhǔn)可以定位金屬盤在一個(gè)最合適的位置。Kaman電渦流傳感器系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號(hào)，以防止信號(hào)值超出可承受范圍。如果金屬盤傾斜，制動(dòng)裝置將校正其位置。
特點(diǎn)
1類型：SMT-9700電渦流位移傳感器
2 直接測(cè)試：一個(gè)環(huán)直接連接到彈簧浮板傳感器可以直接測(cè)試氣體噴射器的位置。
3 無需接觸：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個(gè)傳感器均可以無接觸地測(cè)量到目標(biāo)體的位置。
4 應(yīng)用廣泛。
卡曼SMT-9700電渦流位移傳感器系列是一個(gè)基于脈寬調(diào)制技術(shù)的系統(tǒng)。具體來說，相位檢測(cè)是基于脈沖寬度調(diào)制技術(shù)。該系統(tǒng)占地面積小，是理想的OEM配置，具有極佳的分辨率，并且只需要一個(gè)單端電源。定制的設(shè)計(jì)可調(diào)整滿足客戶的需求，同時(shí)18針的單列直插式封裝卡可為客戶整合到現(xiàn)有的主板。
電渦流位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量、半導(dǎo)體和光器件的研磨、半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電子顯微鏡垂直軸定位、原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的精確定位、鏡片控制、物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量、機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試。
電渦流位移傳感器主要特點(diǎn)
尺寸小巧
埃米級(jí)分辨率
有1、2或3通道可配電渦流探頭
可配13種電渦流探頭
工作溫度：0～70oC(補(bǔ)償范圍15～55oC)
符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
輸出負(fù)載電流<20mA(有短路和過載保護(hù))
供電電壓：15～30V，<50mA(有容錯(cuò)保護(hù)、短路保護(hù))
詳情請(qǐng)?jiān)L問：
http://www.51sensors.com/prod_detail_786.html
英國(guó)真尚有集團(tuán)
深圳市真尚有科技有限公司
電話：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
傳真：0755-26528210/26435640
